Spezielle Gassteuerungsanlagen: Das Kernstück der Druckregelung und Sicherheitssteuerung

1. Grundlegendes manuelles Steuerpult

Dieses Pult integriert manuelle Kugelhähne, einen Druckregler und ein Druckmanometer. Bediener stellen den Ausgangsdruck manuell ein und steuern den Gasstrom manuell. Aufgrund seiner einfachen Bauweise ist es leicht zu bedienen und zu warten. Ein- oder zweistufige Regelkreise stehen je nach Anforderung an die Druckgenauigkeit zur Verfügung.

Anwendungen: Labor-Pipelines, kleine bis mittlere Produktionslinien sowie Reserve-Gaswechselstationen mit vor-Ort-Personal.

Geeignete Gase: Stickstoff (N₂), Argon (Ar), Helium (He), Kohlendioxid (CO₂) sowie andere inerte oder nichtkorrosive Gase.

2. Fernüberwachungs-Druckpanel

Dieser Typ baut auf dem Basispanel auf und fügt Drucktransmitter hinzu, die Eingangs-/Ausgangsdrucksignale in standardisierte 4–20-mA-Elektronsignale für die Fernüberwachung über ein zentrales Steuerungssystem umwandeln. Lokale Manometer und manuelle Ventile bleiben für den vor-Ort-Betrieb erhalten. Unterstützt Echtzeit-Warnmeldungen und Datenaufzeichnung.

Anwendungen: Unbemannte Gasstationen, fernüberwachte Spezialgasräume sowie kontinuierliche Produktionslinien mit strengen Anforderungen an die Druckstabilität.

Geeignete Gase: Giftige oder korrosive Gase wie Schwefelwasserstoff (H₂S) und Ammoniak (NH₃) sowie entzündliche Gase wie Wasserstoff (H₂).

3. Magnetventil-Automatik-Abschaltpanel

Dieses Panel ist mit magnetischen Absperrventilen ausgestattet, die auf Steuersignale des Steuerungssystems für die Fernbedienung zum Öffnen/Schließen und zur Notabschaltung des Gases reagieren. Es kann mit Brandmeldeanlagen und Gasmeldesystemen verbunden werden, um die Gasversorgung bei Störungen automatisch abzuschalten.

Anwendungen: Vollautomatische Spezialgas-Schränke, gefährliche Gasversorgungssysteme, die eine Notabschaltung erfordern, und Systeme für die automatische Umschaltung zwischen zwei Quellen.

Geeignete Gase: Pyrophore, hochgiftige oder stark ätzende Gase wie Silan (SiH₄), Phosphin (PH₃) und Chlor (Cl₂).

4. Panel für die automatische Umschaltung zwischen zwei Quellen

Ausgestattet mit Anschlüssen für die primäre und Reserve-Gasquelle wechselt dieses Panel automatisch auf die Reserveversorgung, wenn die primäre Quelle erschöpft ist — ohne Unterbrechung oder Druckschwankungen. Es umfasst Zweistufen-Regler, Rückschlagventile und Drucküberwachungsmodule.

Anwendungen: Kontinuierliche Fertigungslinien und kritische Prozessstationen, bei denen die Gasversorgung nicht unterbrochen werden darf, beispielsweise bei der Abscheidung und Ätzung von Halbleitern.

Geeignete Gase: SiH₄, NH₃, CF₄ und andere kontinuierlich erforderliche Prozessgase.

5. Gas-Misch- und Verhältnissteuerungs-Panel

Dieses Panel integriert Massendurchflussregler (MFCs), Proportionalventile und eine Mischkammer und steuert präzise das Durchflussverhältnis von zwei oder mehr Gasen mit einer Mischgenauigkeit von ±1 % FS.

Anwendungen: CVD, Plasmaätzen, schutzgasgeschweißte Verbindungen und die Herstellung standardisierter Labor-Gasgemische.

Geeignete Gase: H₂/N₂, Ar/O₂ und andere binäre oder mehrkomponentige Gasgemische.

6. Hochreines Spezialgas-Panel (VCR-Anschluss)

Hergestellt aus Edelstahl 316L mit elektropolierter (EP) Innenoberfläche (Ra ≤ 0,25 μm); dieses Panel verwendet durchgängig VCR-Metall-Dichtungsanschlüsse, um Leckagen und Kontaminationen zu vermeiden. Ausgestattet mit Hochreinigkeits-Druckreglern und Inline-Filtern erfüllt es Reinheitsanforderungen im ppb-Bereich. Jede Einheit wird vor dem Versand mittels Helium-Lecktest und Partikelprüfung überprüft.

Anwendungen: Halbleiter-Waferfertigung, fortschrittliche Verpackungstechnologien, Photovoltaikzellen sowie Gasversorgung in Reinräumen.

Geeignete Gase: Hochreines Ar, He, N₂, Silan (SiH₄), Trichlorsilan (SiHCl₃) sowie andere Träger- oder Reaktionsgase.