Spesiale Gasbeheerpanele: Die Kern van Drukreël- en Veiligheidsbeheer

1. Basiese handbedieningspaneel

Hierdie paneel integreer handbediende koglekke, 'n drukreguleerder en 'n drukmeter. Operateurs stel uitgaande druk en beheer gasvloei met die hand. Sy eenvoudige struktuur maak dit maklik om te bedien en te onderhou. Een- of tweevlakreguleerkringe is beskikbaar vir verskillende drukakkuraatheidsvereistes.

Toepassings: Laboratoriumpype, klein-tot-medium vervaardigingslyne en gaswisselstasies vir noodgevalle met personeel op die terrein.

Geskikte gasse: Stikstof (N₂), argon (Ar), helium (He), koolstofdioksied (CO₂), en ander inerte of nie-kraterende gasse.

2. Afstanddrukmonitorpaneel

Gebou op die basiese paneel, voeg hierdie tipe druktransmitters by wat ingang/uitgangdrukseine omset na standaard 4–20mA elektriese seine vir afstandmonitoring by ’n sentrale beheerstelsel. Plaaslike manometers en handbediende kleppe word behou vir bedryf op die terrein. Ondersteun werkliktydalarme en data-logboekhou.

Toepassings: Onbemannde gasstasies, spesialiteitsgasruimtes wat van ’n afstand gemonitor word, en aanhoudende vervaardigingslyne met streng vereistes vir drukstabiliteit.

Geskikte gasse: Giftige of kraterende gasse soos waterstofsulfied (H₂S) en ammoniak (NH₃), sowel as brandbare gasse soos waterstof (H₂).

3. Solenoidklep outomatiese afskakelpaneel

Hierdie paneel is toegerus met solenoid afskakelkleppe wat op beheerstelselseine reageer vir afstand oop/toe-bedryf en noodgasafsluiting. Dit integreer met brandalarms en gasopsporingsstelsels om die gasvoorsiening outomaties af te sluit onder abnormale toestande.

Toepassings: Volledig outomatiese spesialiteitsgaskaste, gevaarlike gasversorgingsstelsels wat noodafskakeling vereis, en dubbelbron-outomatiese oorskakelstelsels.

Geskik vir gasse: Piróforiese, hoogs giftige of sterk korrosiewe gasse soos silaan (SiH₄), fosfien (PH₃) en chloor (Cl₂).

4. Dubbelbron-outomatiese oorskakelpaneel

Uitgerus met primêre en rugsteungasbronverbindings, skakel hierdie paneel outomaties oor na die rugsteunvoorsiening wanneer die primêre bron opraak — sonder enige onderbreking of drukfluktuasie. Dit sluit dubbelstadia-reguleerders, terugslagkleppe en drukmoniteringsmodules in.

Toepassings: Aaneenlopende vervaardigingslyne en kritieke prosesstasies waar die gasvoorsiening nie onderbreek kan word nie, soos halfgeleierafsettings- en etsprosesse.

Geskikte gasse: SiH₄, NH₃, CF₄ en ander prosesgasse wat voortdurend benodig word.

5. Gas Meng- en Verhoudingsbeheerpaneel

Hierdie paneel integreer massa-vloei-beheerders (MFC’s), proporsionele kleppe en ’n mengkamer om die vlooi-verhouding van twee of meer gasse presies te beheer, met ’n mengakkuraatheid van ±1% FS.

Toepassings: CVD, plasma-etsing, gasbeskermde laswerk en laboratoriumstandaardgasbereiding.

Geskikte gasse: H₂/N₂, Ar/O₂ en ander binêre of multi-komponentgasmengsels.

6. Hoog suiwerheid spesialiteitsgaspaneel (VCR-aansluiting)

Gemaak van 316L roestvrystaal met elektrogepolisde (EP) binnekante oppervlaktes (Ra ≤0,25 μm), gebruik hierdie paneel VCR-metaal-vlak-seëlverbindings oral om lekkasies en besoedeling te vermy. Dit is toegerus met hoogsuiwer drukverlaagders en lynfilters, en voldoen aan suiwerheidsvereistes op ppb-vlak. Elke eenheid word voor versending met helium getoets vir lekkasies en vir deeltjies geïnspekteer.

Toepassings: Halfgeleier-skyfvervaardiging, gevorderde verpakking, fotovoltaïese selle en skoonkamer-gasversorging.

Geskik vir gasse: Hoogsuiwer Ar, He, N₂, silaan (SiH₄), trichlorosilaan (SiHCl₃) en ander draer- of reaktiewe gasse.