EN
AR
HR
CS
NL
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
VI
MT
TH
TR
AF
MS
AZ
Specjalne panele sterowania gazami: rdzeń regulacji ciśnienia i kontroli bezpieczeństwa
Specjalna tablica sterująca gazami (specjalnymi gazami) jest centralnym urządzeniem sterującym w systemie dostarczania specjalnych gazów. Zintegrowana jest z regulatorami ciśnienia, zaworami odcinającymi, manometrami, czujnikami oraz armaturą rurową – wszystkie te elementy są zamontowane na standardowej płycie. Jej podstawowym zadaniem jest regulacja, stabilizacja i monitorowanie ciśnienia zasilania gazem, zapewniając bezpieczną i ciągłą dostawę gazu do urządzeń procesowych położonych w dalszej części układu.
Tablice te znajdują szerokie zastosowanie w zaawansowanych sektorach przemysłu, takich jak produkcja półprzewodników, fotowoltaika, matryce TFT-LCD oraz biotechnologia farmaceutyczna, gdzie stabilne ciśnienie i nieprzerwany przepływ gazu są kluczowe dla jakości produkcji i bezpieczeństwa.
Rodzaje i funkcje
1. Podstawowa tablica sterowania ręcznego
Ta tablica zawiera zawory kulowe ręczne, regulator ciśnienia oraz manometr. Operatorzy ręcznie regulują ciśnienie wyjściowe i kontrolują przepływ gazu. Prosta konstrukcja ułatwia obsługę i konserwację. Dostępne są obwody regulacji jednostopniowej lub dwustopniowej, dostosowane do różnych wymagań co do dokładności ciśnienia.
Zastosowania: Linie laboratoryjne, linie produkcyjne średnie i małe oraz stacje przełączania gazów rezerwowych z obsługą przez personel na miejscu.
Gazy dopuszczalne: Azot (N₂), argon (Ar), hel (He), dwutlenek węgla (CO₂) oraz inne gazy obojętne lub niemające właściwości korozyjnych.
2. Panel zdalnego monitoringu ciśnienia
Opracowany na bazie podstawowego panelu; typ ten zawiera dodatkowo przetworniki ciśnienia, które konwertują sygnały ciśnienia na wejściu/wyjściu na standardowe elektryczne sygnały 4–20 mA do zdalnego monitoringu w centralnym systemie sterowania. Manometry lokalne i zawory ręczne pozostają zachowane do obsługi na miejscu. Obsługuje alarmy w czasie rzeczywistym oraz rejestrację danych.
Zastosowania: Bezobsługowe stacje gazowe, pomieszczenia ze specjalnymi gazami monitorowane zdalnie, ciągłe linie produkcyjne wymagające wysokiej stabilności ciśnienia.
Gazy dopuszczalne: Gazy toksyczne lub korozyjne, takie jak siarkowodór (H₂S) i amoniak (NH₃), a także gazy palne, np. wodór (H₂).
3. Panel automatycznego wyłączania zaworu elektromagnetycznego
Ten panel jest wyposażony w elektromagnetyczne zawory zamykające, które reagują na sygnały systemu sterowania umożliwiając zdalne otwieranie/zamykanie oraz awaryjne odcięcie dopływu gazu. Integracja z systemami alarmów pożarowych i wykrywania gazu pozwala na automatyczne odcięcie dopływu gazu w przypadku nieprawidłowych warunków.
Zastosowania: W pełni zautomatyzowane szafy na gazy specjalne, systemy dostarczania gazów niebezpiecznych wymagające awaryjnego odcięcia oraz systemy automatycznego przełączania między dwoma źródłami zasilania.
Gazy stosowane: Gaz zapłonowe samozapalny, wysoce toksyczny lub silnie korozyjny, np. silan (SiH₄), fosfin (PH₃) oraz chlor (Cl₂).
4. Panel automatycznego przełączania między dwoma źródłami zasilania
Panel ten posiada połączenia z głównym i rezerwowym źródłem gazu oraz automatycznie przełącza się na zasilanie rezerwowe po wyczerpaniu się źródła głównego — bez przerwy w dopływie gazu ani fluktuacji ciśnienia. Zawiera dwustopniowe reduktory ciśnienia, zawory zwrotne oraz moduły monitoringu ciśnienia.
Zastosowania: Linie produkcyjne ciągłe oraz kluczowe stacje procesowe, w których nie można przerwać zasilania gazem, np. osadzanie i trawienie półprzewodników.
Gazy stosowane: SiH₄, NH₃, CF₄ oraz inne gazy procesowe wymagane w sposób ciągły.
5. Panel mieszania gazów i regulacji stosunku objętościowego
Panel ten integruje regulatory przepływu masowego (MFC), zawory proporcjonalne oraz komorę mieszania i zapewnia precyzyjną kontrolę stosunku przepływu dwóch lub więcej gazów z dokładnością mieszania wynoszącą ±1% FS.
Zastosowania: Osadzanie chemiczne z fazy gazowej (CVD), trawienie plazmowe, spawanie w osłonie gazowej oraz przygotowywanie gazów wzorcowych w laboratoriach.
Gazy stosowane: H₂/N₂, Ar/O₂ oraz inne dwuskładnikowe lub wieloskładnikowe mieszaniny gazowe.
6. Panel wysokiej czystości do gazów specjalnych (połączenie VCR)
Wykonana ze stali nierdzewnej 316L z elektropolerowanymi (EP) powierzchniami wewnętrznymi (Ra ≤ 0,25 μm); panel ten wykorzystuje w całym układzie metalowe połączenia uszczelniane twarzą typu VCR, eliminując wycieki i zanieczyszczenia. Wyposażony w regulatory wysokiej czystości oraz filtry liniowe spełnia wymagania dotyczące czystości na poziomie ppb. Każda jednostka podlega testowi szczelności helowej oraz kontroli cząstek przed wysyłką.
Zastosowania: Produkcja płytek półprzewodnikowych, zaawansowane opakowania, ogniwa fotowoltaiczne oraz dostawa gazów do pomieszczeń czystych.
Gazy stosowane: Ar, He, N₂ o wysokiej czystości, silan (SiH₄), trichlorosilan (SiHCl₃) oraz inne gazy nośne lub reakcyjne.