EN
AR
HR
CS
NL
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
VI
MT
TH
TR
AF
MS
AZ
Panel Kawalan Gas Khas: Teras Pengawalan Tekanan dan Keselamatan
Panel kawalan gas khas (gas khusus) ialah unit kawalan pusat dalam sistem penghantaran gas khas. Ia mengintegrasikan pengatur tekanan, injap penutup, tolok tekanan, sensor, dan kelengkapan paip — semuanya dipasang pada panel piawai. Fungsi utamanya ialah mengatur, menstabilkan, dan memantau tekanan bekalan gas untuk memastikan penghantaran gas yang selamat dan berterusan kepada peralatan proses hilir.
Panel-panel ini digunakan secara meluas dalam sektor pembuatan berteknologi tinggi seperti semikonduktor, fotovoltaik, TFT-LCD, dan biofarmaseutikal, di mana kestabilan tekanan dan aliran gas tanpa gangguan adalah penting bagi kualiti pengeluaran dan keselamatan.
Jenis dan Fungsi
1. Panel Kawalan Manual Asas
Panel ini mengintegrasikan injap bola manual, pengatur tekanan, dan tolok tekanan. Operator melaraskan tekanan keluaran dan mengawal aliran gas secara manual. Strukturnya yang ringkas menjadikannya mudah dioperasikan dan diselenggara. Litar pengaturan satu atau dua peringkat tersedia untuk keperluan ketepatan tekanan yang berbeza.
Aplikasi: Saluran makmal, garis pengeluaran kecil hingga sederhana, dan stesen pertukaran gas cadangan dengan kakitangan di lokasi.
Gas yang sesuai: Nitrogen (N₂), argon (Ar), helium (He), karbon dioksida (CO₂), dan gas lembam atau tidak korosif lain.
2. Panel Pemantauan Tekanan Jarak Jauh
Dibina berdasarkan panel asas, jenis ini menambah pemancar tekanan yang menukar isyarat tekanan masuk/keluar kepada isyarat elektrik piawai 4–20mA untuk pemantauan jarak jauh di sistem kawalan pusat. Tolok tempatan dan injap manual dikekalkan untuk operasi di lokasi. Menyokong amaran masa nyata dan pencatatan data.
Aplikasi: Stesen gas tanpa kakitangan, bilik gas khas yang dipantau jarak jauh, garis pengeluaran berterusan dengan keperluan ketegaran tekanan yang ketat.
Gas yang sesuai: Gas toksik atau korosif seperti hidrogen sulfida (H₂S) dan ammonia (NH₃), serta gas mudah terbakar seperti hidrogen (H₂).
3. Panel Auto-Pemutus Injap Solenoid
Panel ini dilengkapi injap penutup elektromagnetik yang bertindak balas terhadap isyarat sistem kawalan untuk operasi buka/tutup jarak jauh dan pemotongan gas kecemasan. Ia disepadukan dengan sistem penggera kebakaran dan sistem pengesanan gas untuk mematikan bekalan gas secara automatik dalam keadaan tidak normal.
Aplikasi: Kabinet gas khas sepenuhnya automatik, sistem penghantaran gas berbahaya yang memerlukan pemotongan kecemasan, dan sistem beralih-otomatik sumber berganda.
Gas yang sesuai: Gas piroforik, sangat toksik, atau sangat korosif seperti silana (SiH₄), fosfin (PH₃), dan klorin (Cl₂).
4. Panel Beralih-Otomatik Sumber Berganda
Dilengkapi sambungan sumber gas utama dan cadangan, panel ini beralih secara automatik kepada bekalan cadangan apabila sumber utama habis—tanpa gangguan atau ayunan tekanan. Ia mengandungi pengatur dua peringkat, injap sekatan, dan modul pemantauan tekanan.
Aplikasi: Garis pengeluaran berterusan dan stesen proses kritikal di mana bekalan gas tidak boleh terganggu, seperti pemendapan semikonduktor dan pengikisan.
Gas yang sesuai: SiH₄, NH₃, CF₄, dan gas proses lain yang diperlukan secara berterusan.
5. Panel Pencampuran Gas dan Kawalan Nisbah
Panel ini menggabungkan pengawal aliran jisim (MFC), injap berkadar, dan ruang pencampuran untuk mengawal secara tepat nisbah aliran dua atau lebih gas, dengan ketepatan pencampuran sehingga ±1% FS.
Aplikasi: Pengendapan kimia wap (CVD), pengikisan plasma, kimpalan pelindung gas, dan penyediaan gas piawai makmal.
Gas yang sesuai: H₂/N₂, Ar/O₂, dan campuran gas dwikomponen atau pelbagai komponen lain.
6. Panel Gas Khas Berketulatan Tinggi (Sambungan VCR)
Dibina daripada keluli tahan karat 316L dengan permukaan dalaman yang dikenakan proses elektropolish (EP) (Ra ≤0.25μm), panel ini menggunakan sambungan logam VCR berjenis muka-segel untuk mengelakkan kebocoran dan kontaminasi. Dilengkapi dengan pengatur keluli tinggi dan penapis talian, ia memenuhi keperluan ketulenan tahap ppb. Setiap unit diuji kebocoran gas helium dan diperiksa zarah sebelum penghantaran.
Aplikasi: Pembuatan wafer semikonduktor, pembungkusan lanjutan, sel fotovoltaik, dan penghantaran gas dalam bilik bersih.
Gas yang sesuai: Argon (Ar), Helium (He), Nitrogen (N₂), silana (SiH₄), triklorosilana (SiHCl₃), dan gas pembawa atau gas reaktif lain yang berketulenan tinggi.