Xüsusi Qaz Nəzarət Paneli: Təzyiqin Tənzimlənməsi və Təhlükəsizlik Nəzarətinin Mərkəzi

1. Əsas əl ilə idarə olunan panel

Bu panel əl ilə idarə olunan top klapanlarını, təzyiq tənzimləyicisini və təzyiq ölçən cihazı birləşdirir. Operatorlar çıxış təzyiqini və qaz axınını əl ilə tənzimləyirlər. Sadə strukturu onun istismarı və texniki xidməti üçün asanlıq yaradır. Fərqli təzyiq dəqiqliyi tələbləri üçün bir- və ya iki mərhələli tənzimləmə dövrələri mövcuddur.

Tətbiqlər: Laboratoriya boru kəmərləri, kiçik və orta ölçülü istehsal xətləri və əməkdaşların olduğu yerlərdə qazın avtomatik dəyişdirilməsi stansiyaları.

Uyğun qazlar: Azot (N₂), argon (Ar), helium (He), karbon qazı (CO₂) və digər inert və ya korroziyaya davamlı qazlar.

2. Uzaqdan təzyiq nəzarəti paneli

Əsas panel əsasında qurulmuş bu növ təzyiq keçiricilərini əlavə edir ki, bunlar giriş/çıxış təzyiq siqnallarını mərkəzi idarəetmə sisteminə uzaqdan nəzarət üçün standart 4–20 mA elektrik siqnallarına çevirir. Yerli manometrlər və əl ilə idarə olunan klapanlar yerində işləmə üçün saxlanılır. Real vaxt rejimində xəbərdarlıqları və məlumatların qeyd edilməsini dəstəkləyir.

Tətbiqlər: İnsansız qaz stansiyaları, uzaqdan nəzarət olunan xüsusi qaz otaqları, təzyiq sabitliyi tələbləri çox yüksək olan davamlı istehsal xətləri.

Uyğun qazlar: Hidrogen sulfid (H₂S) və ammiak (NH₃) kimi zəhərli və ya korroziyaya səbəb olan qazlar, həmçinin hidrogen (H₂) kimi yanıcı qazlar.

3. Elektromaqnit klapanlı avtomatik bağlama paneli

Bu panel, uzaqdan açma/bağlama əməliyyatı və təcili qaz kəsilməsi üçün idarəetmə sistemi siqnallarına cavab verən solenoid bağlama klapanları ilə təchiz olunub. O, qazın təhlükəli şəkildə kəsilməsi üçün yanğın alarm sistemləri və qaz aşkarlama sistemləri ilə inteqrasiya olunub.

Tətbiqlər: Tam avtomatlaşdırılmış xüsusi qaz şkafları, təcili bağlama tələb edən təhlükəli qaz verilmə sistemləri və iki mənbəli avtomatik keçid sistemləri.

Uyğun qazlar: Silan (SiH₄), fosfin (PH₃) və xlor (Cl₂) kimi piroporik, yüksək toksik və güclü korroziv qazlar.

4. İki Mənbəli Avtomatik Keçid Paneli

Əsas və ehtiyat qaz mənbəyi qoşulmaları ilə təchiz olunmuş bu panel əsas mənbəyin bitməsi halında heç bir fasilə və ya təzyiq dalğalanması olmadan ehtiyat təchizata avtomatik keçir. O, iki mərhələli tənzimləyicilər, geri qoruyucu klapanlar və təzyiq nəzarəti modullarını özündə birləşdirir.

Tətbiqlər: Qaz təchizatı kəsilməməli olan davamlı istehsal xətləri və tənqidi proses stansiyaları, məsələn, yarımkeçirici çöküntüləri və aşındırma prosesləri.

Uyğun qazlar: SiH₄, NH₃, CF₄ və digər davamlı olaraq tələb olunan proses qazları.

5. Qaz qarışdırma və nisbət idarəetmə paneli

Bu panel kütlə axın idarəedici cihazlardan (MFC), proporsional klapanlardan və qarışdırma kamerasından ibarətdir və iki və ya daha çox qazın axın nisbətini dəqiq şəkildə idarə edir; qarışdırma dəqiqliyi ±1% FS-dir.

Tətbiqlər: Kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD), plazma aşındırma, qazla qorunan qaynaq və laboratoriya standart qaz hazırlığı.

Uyğun qazlar: H₂/N₂, Ar/O₂ və digər ikili və ya çoxkomponentli qaz qarışıqları.

6. Yüksək saflıqlı xüsusi qaz paneli (VCR qoşulması)

Bu panel 316L paslanmayan poladından hazırlanmış və daxili səthləri elektropolirlənmişdir (EP) (Ra ≤0,25 μm). Sızıntı və kontaminasiyanı aradan qaldırmaq üçün VCR metal üz-üzə birləşdirici qurğulardan istifadə olunur. Yüksək təmizlikli tənzimləyicilər və xətti süzgəclərlə təchiz edilmişdir və ppb səviyyəsində təmizlik tələblərini ödəyir. Hər bir vahid göndəriləndən əvvəl heliumla sızdırmazlıq testinə və zərrəcik yoxlamasına məruz qoyulur.

Tətbiq sahələri: Yarıkeçirici kristal plastinkalarının istehsalı, irəli səviyyəli qablaşdırma, fotovoltaik elementlər və təmiz otaqlarda qazın verilməsi.

Uyğun qazlar: Yüksək təmizlikli Ar, He, N₂, silan (SiH₄), trixlorosilan (SiHCl₃) və digər daşıyıcı və ya reaktiv qazlar.