Spesialgasskontrollpaneler: Kjernen i trykkregulering og sikkerhetskontroll

1. Grunnleggende manuelt kontrollpanel

Dette panelet integrerer manuelle kuleventiler, en trykkregulator og en trykkmåler. Operatører justerer utgangstrykket og kontrollerer gassstrømmen manuelt. Den enkle konstruksjonen gjør det lett å betjene og vedlikeholde. Enkelt- eller dobbelttrinnsreguleringskretser er tilgjengelige for ulike krav til trykknøyaktighet.

Anvendelser: Laboratorieprosesser, små til mellomstore produksjonslinjer og reservegassbyttestasjoner med personell på stedet.

Egnede gasser: Nitrogen (N₂), argon (Ar), helium (He), karbondioksid (CO₂) og andre inerte eller ikke-korrosive gasser.

2. Fjerntrykkovervåkningspanel

Bygget på grunnpanelet, legger denne typen til trykktransmittere som konverterer inngangs/utgangstrykksignaler til standard 4–20 mA elektriske signaler for fjernovervåkning i et sentralt kontrollsystem. Lokale manometer og manuelle ventiler beholdes for lokal drift. Støtter sanntidsalarmer og datalogging.

Anvendelser: Ugjenstandige gassstasjoner, fjernovervåkede spesialgassrom, kontinuerlige produksjonslinjer med strenge krav til trykkstabilitet.

Egnede gasser: Giftige eller korrosive gasser som hydrogen-sulfid (H₂S) og ammoniakk (NH₃), samt brennbare gasser som hydrogen (H₂).

3. Magnetventilautomatisk avstengningspanel

Dette panelet er utstyrt med magnetventiler som reagerer på signaler fra kontrollsystemet for fjernåpning/lukking og nødavstengning av gass. Det integreres med brannalarmsystemer og gassdeteksjonssystemer for å automatisk stenge av gassforsyningen ved unormale forhold.

Anvendelser: Fullt automatiserte spesialgasskabinetter, farlige gassleveringssystemer som krever nødavstengning og systemer for automatisk veksling mellom to kilder.

Egnede gasser: Pyroforiske, svært giftige eller sterkt korrosive gasser som silan (SiH₄), fosfin (PH₃) og klor (Cl₂).

4. Panel for automatisk veksling mellom to kilder

Utstyrt med tilkoblinger for primær og reservemellomlagringskilde, bytter dette panelet automatisk til reservemellomlagringen når den primære kilden er oppbrukt – uten avbrytelse eller trykksvingninger. Det inneholder regulatorer i to trinn, sjekkventiler og trykkovervåkningsmoduler.

Anvendelser: Kontinuerlige produksjonslinjer og kritiske prosessstasjoner der gassforsyningen ikke kan avbrytes, som for eksempel halvlederavsetning og etsing.

Egnede gasser: SiH₄, NH₃, CF₄ og andre kontinuerlig nødvendige prosessgasser.

5. Gasmiksnings- og forholdsstyringspanel

Dette panelet integrerer massestrømstyrere (MFC-er), proporsjonale ventiler og en blandingsskåle, og styrer nøyaktig strømforholdet mellom to eller flere gasser, med en blandingnøyaktighet på ±1 % FS.

Anvendelser: CVD, plasmaetsing, gassbeskyttet sveising og laboratoriestandardgassframstilling.

Egnede gasser: H₂/N₂, Ar/O₂ og andre binære eller flerkomponente gassblandinger.

6. Høyrenhetsspesialgasspanel (VCR-tilkobling)

Konstruert av rustfritt stål 316L med elektropolerte (EP) indre overflater (Ra ≤ 0,25 μm); dette panelet bruker VCR metallanslutninger med flate tetninger gjennom hele systemet for å unngå lekkasjer og forurensning. Utstyrt med regulatorer og in-line-filter for høy renhet, oppfyller det kravene til renhet på ppb-nivå. Hver enhet testes for heliumlekkasje og partikler før utlevering.

Anvendelser: Halvlederwafer-fremstilling, avansert emballasje, solcelleproduksjon og gasslevering i rene rom.

Egnede gasser: Høyren Ar, He, N₂, silan (SiH₄), trichlorsilan (SiHCl₃) og andre bæregasser eller reaktive gasser.