Pannelli di controllo per gas speciali: Il cuore della regolazione della pressione e del controllo della sicurezza

1. Pannello di controllo manuale base

Questo pannello integra valvole a sfera manuali, un regolatore di pressione e un manometro. L’operatore regola manualmente la pressione in uscita e controlla il flusso di gas. La sua struttura semplice ne facilita l’utilizzo e la manutenzione. Sono disponibili circuiti di regolazione a uno o due stadi, a seconda dei diversi requisiti di precisione della pressione.

Applicazioni: Linee di laboratorio, linee di produzione di piccole e medie dimensioni e stazioni di commutazione gas di riserva con personale presente in loco.

Gas idonei: Azoto (N₂), argon (Ar), elio (He), anidride carbonica (CO₂) e altri gas inerti o non corrosivi.

2. Pannello di monitoraggio remoto della pressione

Basato sul pannello base, questo tipo aggiunge trasmettitori di pressione che convertono i segnali di pressione in ingresso/uscita in segnali elettrici standard 4–20 mA per il monitoraggio remoto da un sistema di controllo centrale. I manometri locali e le valvole manuali sono mantenuti per l’operatività in loco. Supporta allarmi in tempo reale e registrazione dati.

Applicazioni: Stazioni gas senza presenza umana, locali gas speciali monitorati a distanza, linee di produzione continue con rigorosi requisiti di stabilità della pressione.

Gas idonei: Gas tossici o corrosivi, quali solfuro di idrogeno (H₂S) e ammoniaca (NH₃), nonché gas infiammabili come l’idrogeno (H₂).

3. Pannello di intercettazione automatica con valvola a solenoide

Questo pannello è dotato di valvole di intercettazione a solenoide che rispondono ai segnali del sistema di controllo per l’apertura/chiusura da remoto e per l’interruzione di emergenza del gas.

Applicazioni: armadi per gas speciali completamente automatizzati, sistemi di distribuzione di gas pericolosi che richiedono l’interruzione di emergenza e sistemi automatici di commutazione tra due fonti.

Gas idonei: gas piroforici, altamente tossici o fortemente corrosivi, come il silano (SiH₄), la fosfina (PH₃) e il cloro (Cl₂).

4. Pannello di commutazione automatica tra due fonti

Dotato di connessioni per la fonte principale e quella di riserva, questo pannello passa automaticamente alla fonte di riserva quando quella principale si esaurisce — senza interruzioni né fluttuazioni di pressione. Include regolatori a due stadi, valvole di ritegno e moduli di monitoraggio della pressione.

Applicazioni: Linee di produzione continue e stazioni di processo critiche in cui l’erogazione del gas non può essere interrotta, ad esempio deposizione ed incisione di semiconduttori.

Gas idonei: SiH₄, NH₃, CF₄ e altri gas di processo richiesti in modo continuo.

5. Pannello per la miscelazione dei gas e il controllo dei rapporti

Questo pannello integra regolatori di portata massica (MFC), valvole proporzionali e una camera di miscelazione, consentendo un controllo preciso del rapporto di flusso di due o più gas, con un’accuratezza di miscelazione pari a ±1% FS.

Applicazioni: Deposizione chimica da vapore (CVD), incisione al plasma, saldatura con protezione gassosa e preparazione di gas standard per laboratorio.

Gas idonei: H₂/N₂, Ar/O₂ e altre miscele binarie o multicomponente di gas.

6. Pannello per gas speciali ad alta purezza (connettore VCR)

Costruito in acciaio inossidabile 316L con superfici interne elettropolite (EP) (Ra ≤0,25 μm), questo pannello utilizza raccordi metallici a tenuta frontale VCR per eliminare perdite e contaminazioni. Dotato di regolatori ad alta purezza e filtri in linea, soddisfa i requisiti di purezza a livello di ppb. Ogni unità viene sottoposta a prova di perdita all’elio e a controllo delle particelle prima della spedizione.

Applicazioni: Fabbricazione di wafer per semiconduttori, imballaggio avanzato, celle fotovoltaiche e distribuzione di gas in ambienti controllati.

Gas idonei: Argon (Ar), elio (He), azoto (N₂), silano (SiH₄), triclorosilano (SiHCl₃) e altri gas di trasporto o reattivi ad alta purezza.