لوحات تحكُّم الغاز الخاصة: العمود الفقري لتنظيم الضغط والتحكم في السلامة

١. لوحة التحكم اليدوي الأساسية

تدمج هذه اللوحة صمامات كروية يدوية، ومنظم ضغط، وجهاز قياس ضغط. ويقوم المشغلون بضبط ضغط المخرج والتحكم في تدفق الغاز يدوياً. وبفضل بنيتها البسيطة، تكون سهلة التشغيل والصيانة. كما تتوفر دوائر تنظيم أحادية المرحلة أو ثنائية المرحلة لتلبية متطلبات دقة الضغط المختلفة.

التطبيقات: خطوط أنابيب المختبرات، وخطوط الإنتاج الصغيرة والمتوسطة، ومحطات تبديل الغاز الاحتياطية التي يعمل بها أفراد في الموقع.

الغازات المناسبة: النيتروجين (N₂)، والأرجون (Ar)، والهيليوم (He)، وثاني أكسيد الكربون (CO₂)، وغازات خاملة أو غير مسببة للتآكل أخرى.

٢. لوحة مراقبة الضغط عن بُعد

مبنية على اللوحة الأساسية، وتضيف هذه النوعية مقاييس ضغط إلكترونية تحوّل إشارات الضغط الداخلة/الخارجة إلى إشارات كهربائية قياسية تتراوح بين ٤–٢٠ مللي أمبير لمراقبتها عن بُعد من نظام التحكم المركزي. وتبقى مقاييس الضغط المحلية والصمامات اليدوية للاستخدام في الموقع. وتدعم هذه اللوحة التنبيهات الفورية وتسجيل البيانات.

التطبيقات: محطات الغاز غير المأهولة، وغرف الغازات الخاصة الخاضعة للمراقبة عن بُعد، وخطوط الإنتاج المستمرة التي تتطلب استقراراً دقيقاً في الضغط.

الغازات المناسبة: الغازات السامة أو المسببة للتآكل مثل كبريتيد الهيدروجين (H₂S) والأمونيا (NH₃)، وكذلك الغازات القابلة للاشتعال مثل الهيدروجين (H₂).

٣. لوحة إغلاق تلقائي بالصمامات الكهرومغناطيسية

هذه اللوحة مزودة بصمامات إغلاق كهرومغناطيسية تستجيب لإشارات نظام التحكم لتشغيل أو إيقاف التشغيل عن بُعد، ولقطع تدفق الغاز في حالات الطوارئ. وهي متكاملة مع أنظمة إنذار الحريق وأنظمة كشف الغاز لتقطيع إمداد الغاز تلقائيًّا عند حدوث ظروف غير طبيعية.

التطبيقات: خزائن غاز متخصصة تعمل بالكامل تلقائيًّا، وأنظمة توصيل غاز خطر تتطلب قطعًا طارئًا، وأنظمة تحويل تلقائي بين مصدرين.

الغازات المناسبة: الغازات الاشتعالية الذاتية، أو شديدة السُّمية، أو شديدة التآكل مثل السيلان (SiH₄) والفوسفين (PH₃) والكلور (Cl₂).

٤. لوحة التحويل التلقائي بين مصدريْن

مزودة بتوصيلات لمصدري غاز رئيسي واحتياطي، وتقوم هذه اللوحة بالتحويل التلقائي إلى الإمداد الاحتياطي عند نفاذ المصدر الرئيسي — دون انقطاع أو تقلبات في الضغط. وتشمل منظمَي ضغط من مرحلتين، وصمامات توجيه، ووحدات رصد للضغط.

التطبيقات: خطوط الإنتاج المستمرة ومحطات العمليات الحرجة التي لا يمكن فيها مقاطعة إمداد الغاز، مثل الترسيب والتجويه في صناعة أشباه الموصلات.

الغازات المناسبة: سيلان (SiH₄)، وأمونياك (NH₃)، وتترافلوروميثان (CF₄)، وغازات العمليات الأخرى المطلوبة باستمرار.

٥. لوحة خلط الغازات والتحكم في نسبها

تدمج هذه اللوحة وحدات تحكم تدفق الكتلة (MFCs) والصمامات التناسبية وغرفة الخلط، وتتيح التحكم بدقة في نسبة تدفق غازين أو أكثر، وبدقة خلط تبلغ ±١٪ من القيمة القصوى للقياس (FS).

التطبيقات: الترسيب الكيميائي من البخار (CVD)، والتجويه بالبلازما، ولحام الت Shielding الغازي، وإعداد الغازات القياسية في المختبرات.

الغازات المناسبة: هيدروجين/نيتروجين (H₂/N₂)، وأرجون/أكسجين (Ar/O₂)، ومزيجات غازية ثنائية أو متعددة المكونات أخرى.

٦. لوحة غازات متخصصة عالية النقاء (بتوصيلات VCR)

مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ من الدرجة ٣١٦ ل، مع أسطح داخلية خاضعة لعملية التلميع الكهربائي (إي بي)، وبخشونة سطحية لا تتجاوز ٠٫٢٥ ميكرومتر. ويستخدم هذا اللوحة وصلات معدنية ذات إغلاق وجهي بنظام في سي آر في جميع أجزائها لمنع التسريبات والتلوث. ومزود بمنظمات غاز عالية النقاء ومرشحات خطية، وهو يلبي متطلبات النقاء على مستوى جزء في البليون. وخضع كل وحدة لاختبار تسريب الهيليوم وللفحص المخبري للجسيمات قبل الشحن.

التطبيقات: تصنيع رقائق أشباه الموصلات، والتعبئة المتقدمة، وخلايا الطاقة الشمسية، وتوصيل الغاز في الغرف النظيفة.

الغازات المناسبة للاستخدام: الأرجون عالي النقاء، والهيليوم، والنيتروجين، والسيلان (سي إتش ٤)، والثلاثي كلور السيلان (سي إتش كلو٣)، وغازات حاملة أو تفاعلية أخرى.