Speciale gasregelpanelen: De kern van drukregeling en veiligheidscontrole

1. Basis handbesturingspaneel

Dit paneel integreert handbediende kogelkranen, een drukregelaar en een manometer. Operators stellen de uitlaatdruk handmatig in en regelen de gasstroom handmatig. Door de eenvoudige constructie is het eenvoudig te bedienen en te onderhouden. Er zijn zowel ééntoerige als tweetoerige regelkringen beschikbaar, afhankelijk van de vereiste druknauwkeurigheid.

Toepassingen: Laboratoriumpijpleidingen, kleine tot middelgrote productielijnen en reservegasomschakelstations met aanwezige personeelsleden.

Geschikte gassen: Stikstof (N₂), argon (Ar), helium (He), koolstofdioxide (CO₂) en andere inerte of niet-corrosieve gassen.

2. Afstandsbediend drukbewakingspaneel

Gebaseerd op het basispaneel; dit type is uitgerust met druksensoren die de ingangs-/uitgangsdruksignalen omzetten naar standaard 4–20 mA elektrische signalen voor afstandsbediende bewaking via een centraal besturingssysteem. Lokale manometers en handmatige kleppen blijven behouden voor lokaal gebruik. Ondersteunt realtime alarmmeldingen en gegevensregistratie.

Toepassingen: Onbemande gasstations, afstandsbediende speciaalgasruimtes en continue productielijnen met strenge eisen aan drukstabiliteit.

Geschikte gassen: Giftige of corrosieve gassen zoals waterstofsulfide (H₂S) en ammoniak (NH₃), evenals ontvlambare gassen zoals waterstof (H₂).

3. Solenoïdeklep automatisch afsluitpaneel

Dit paneel is uitgerust met magnetische afsluitkleppen die reageren op signalen van het besturingssysteem voor bediening op afstand (open/sluiten) en noodafsluiting van het gas. Het is geïntegreerd met brandalarm- en gasdetectiesystemen om de gastoestroom automatisch af te sluiten bij abnormale omstandigheden.

Toepassingen: Volledig geautomatiseerde speciaalgascabinets, gevaarlijke gasleveringssystemen met noodafsluiting en automatische tweevoudige-bron-overschakelingsystemen.

Geschikte gassen: Pyrofore, zeer giftige of sterk corrosieve gassen zoals silaan (SiH₄), fosfine (PH₃) en chloor (Cl₂).

4. Automatisch tweevoudige-bron-overschakelingspaneel

Uitgerust met aansluitingen voor primaire en reserve-gasbronnen schakelt dit paneel automatisch over naar de reservevoorziening wanneer de primaire bron leeg raakt — zonder onderbreking of drukfluctuatie. Het bevat regelaars met twee trappen, terugslagkleppen en druksensormodules.

Toepassingen: Continue productielijnen en kritieke processtations waar de gasvoorziening niet mag onderbroken worden, zoals halfgeleiderafzetting en etsen.

Geschikte gassen: SiH₄, NH₃, CF₄ en andere continu vereiste procesgassen.

5. Gasmix- en verhoudingsregelpaneel

Dit paneel integreert massastroomregelaars (MFC’s), proportionele kleppen en een mengkamer en regelt nauwkeurig de stroomverhouding van twee of meer gassen, met een mengnauwkeurigheid van ±1% FS.

Toepassingen: CVD, plasma-etsen, gasafgeschermde lassen en laboratoriumbereiding van standaardgassen.

Geschikte gassen: H₂/N₂, Ar/O₂ en andere binaire of meerdere-componentengasmengsels.

6. Hoogzuiverheidsspecialiteitsgaspaneel (VCR-aansluiting)

Gevormd uit roestvrij staal 316L met elektrogepolijste (EP) binnenoppervlakken (Ra ≤ 0,25 μm); dit paneel gebruikt overal VCR-metaal-aansluitingen met vlakke afdichting om lekkages en verontreiniging te voorkomen. Voorzien van hoogzuivere drukregelaars en in-lijnfilters, voldoet het aan zuiverheidseisen op ppb-niveau. Elke eenheid wordt vóór verzending getest op heliumlekken en gecontroleerd op deeltjes.

Toepassingen: Halfgeleider-waferproductie, geavanceerde verpakking, fotovoltaïsche cellen en gaslevering in cleanrooms.

Geschikte gassen: Hoogzuiver Ar, He, N₂, silaan (SiH₄), trichloorsilaan (SiHCl₃) en andere draaggassen of reactieve gassen.