Các bảng điều khiển khí đặc biệt: Trung tâm của việc điều chỉnh áp suất và kiểm soát an toàn

1. Bảng điều khiển cơ bản bằng tay

Bảng điều khiển này tích hợp các van bi điều khiển thủ công, một bộ điều chỉnh áp suất và một đồng hồ đo áp suất. Người vận hành điều chỉnh áp suất đầu ra và kiểm soát lưu lượng khí bằng tay. Cấu trúc đơn giản giúp bảng điều khiển dễ vận hành và bảo trì. Các mạch điều chỉnh một hoặc hai cấp đều có sẵn để đáp ứng các yêu cầu khác nhau về độ chính xác áp suất.

Cac ung dung: cac duong ong phuc vu phong thi nghiem, cac duong san xuat co quy mo nho den vua, va cac tram chuyen doi khi dua vao yeu cau voi nhan vien tai cho.

Cac loai khi phu hop: Nitrogen (N₂), argon (Ar), helium (He), carbon dioxide (CO₂), va cac loai khi trung tinh hoac khong co tinh xam thuc khac.

2. Bang dieu khien theo doi ap suat tu xa

Duoc xay dung tren co so bang dieu khien co ban, loai nay them cac bo chuyen doi ap suat de bien doi tin hieu ap suat dau vao/dau ra thanh cac tin hieu dien tieu chuan 4–20 mA nham theo doi tu xa tai he thong dieu khien trung tam. Cac dong ho do ap suat tai cho va cac van thu cong van duoc giu lai de van hanh tai cho. Ho tro bao dong thoi gian thuc va luu tru du lieu.

Cac ung dung: cac tram cung cap khi khong co nhan vien, cac phong chua khi dac biet duoc theo doi tu xa, va cac duong san xuat lien tuc co yeu cau cao ve do on dinh ap suat.

Cac loai khi phu hop: cac loai khi doc hai hoac co tinh xam thuc nhu hydrogen sulfide (H₂S) va amoniac (NH₃), cung nhu cac loai khi de cham chay nhu hydrogen (H₂).

3. Bang dieu khien tu dong ngat dien bang van dien tu

Bảng điều khiển này được trang bị các van ngắt điện từ phản hồi tín hiệu từ hệ thống điều khiển để vận hành mở/đóng từ xa và cắt khẩn cấp nguồn khí. Bảng điều khiển tích hợp với hệ thống báo cháy và hệ thống phát hiện khí để tự động ngắt nguồn cung cấp khí trong các điều kiện bất thường.

Ứng dụng: Tủ khí chuyên dụng hoàn toàn tự động, hệ thống phân phối khí nguy hiểm yêu cầu chức năng ngắt khẩn cấp và hệ thống chuyển đổi tự động giữa hai nguồn.

Các loại khí phù hợp: Khí dễ cháy tự phát, khí cực độc hoặc khí ăn mòn mạnh như silan (SiH₄), phosphin (PH₃) và clo (Cl₂).

4. Bảng điều khiển chuyển đổi tự động giữa hai nguồn

Bảng điều khiển này được trang bị kết nối cho nguồn khí chính và nguồn dự phòng; khi nguồn chính cạn kiệt, bảng điều khiển sẽ tự động chuyển sang nguồn dự phòng — không gây gián đoạn hoặc dao động áp suất. Bảng điều khiển tích hợp bộ điều áp hai cấp, van một chiều và mô-đun giám sát áp suất.

Ứng dụng: Các dây chuyền sản xuất liên tục và các trạm quy trình quan trọng mà việc cung cấp khí không được gián đoạn, ví dụ như lắng đọng và ăn mòn bán dẫn.

Các loại khí phù hợp: SiH₄, NH₃, CF₄ và các loại khí quy trình khác cần sử dụng liên tục.

5. Bảng điều khiển pha trộn khí và kiểm soát tỷ lệ

Bảng điều khiển này tích hợp các bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC), van tỷ lệ và buồng pha trộn, cho phép kiểm soát chính xác tỷ lệ lưu lượng của hai hoặc nhiều loại khí, đạt độ chính xác pha trộn ±1% FS.

Ứng dụng: CVD, ăn mòn plasma, hàn có khí bảo vệ và chuẩn bị khí tiêu chuẩn trong phòng thí nghiệm.

Các loại khí phù hợp: H₂/N₂, Ar/O₂ và các hỗn hợp khí hai thành phần hoặc đa thành phần khác.

6. Bảng khí chuyên dụng độ tinh khiết cao (kết nối VCR)

Được chế tạo từ thép không gỉ 316L với bề mặt bên trong được điện phân bóng (EP) (Ra ≤0,25 μm), bảng điều khiển này sử dụng các đầu nối kín mặt kim loại VCR trên toàn bộ hệ thống nhằm loại bỏ hoàn toàn rò rỉ và nhiễm bẩn. Được trang bị các bộ điều áp độ tinh khiết cao và bộ lọc nối tiếp, sản phẩm đáp ứng yêu cầu về độ tinh khiết ở mức ppb. Mỗi đơn vị đều được kiểm tra rò rỉ bằng khí heli và kiểm tra hạt trước khi xuất xưởng.

Ứng dụng: Sản xuất phôi bán dẫn, đóng gói tiên tiến, tế bào quang điện và hệ thống cấp khí cho phòng sạch.

Các loại khí phù hợp: Ar, He, N₂, silan (SiH₄), trichlorosilan (SiHCl₃) và các loại khí mang hoặc khí phản ứng khác ở độ tinh khiết cao.