Tableaux de commande de gaz spéciaux : le cœur de la régulation de pression et de la commande de sécurité

1. Tableau de commande manuel de base

Ce tableau intègre des robinets à boule manuels, un régulateur de pression et un manomètre. L’opérateur règle manuellement la pression de sortie et contrôle le débit gazeux. Sa structure simple facilite son utilisation et sa maintenance. Des circuits de régulation à un ou deux étages sont disponibles, selon les exigences de précision de pression.

Applications : Chaînes de laboratoire, lignes de production de petite à moyenne taille et stations de commutation de gaz de secours avec personnel sur site.

Gaz adaptés : Azote (N₂), argon (Ar), hélium (He), dioxyde de carbone (CO₂) et autres gaz inertes ou non corrosifs.

2. Tableau de surveillance à distance de la pression

Construit sur la base du tableau standard, ce type intègre des transmetteurs de pression qui convertissent les signaux de pression d’entrée/sortie en signaux électriques normalisés 4–20 mA pour une surveillance à distance depuis un système de contrôle central. Les manomètres locaux et les vannes manuelles sont conservés pour les opérations sur site. Prend en charge les alarmes en temps réel et l’enregistrement des données.

Applications : Stations de gaz sans personnel, salles de gaz spéciaux surveillées à distance, lignes de production continues exigeant une stabilité stricte de la pression.

Gaz adaptés : Gaz toxiques ou corrosifs tels que le sulfure d’hydrogène (H₂S) et l’ammoniac (NH₃), ainsi que des gaz inflammables comme l’hydrogène (H₂).

3. Tableau automatique d’arrêt par électrovanne

Ce panneau est équipé de vannes électromagnétiques d’arrêt qui réagissent aux signaux du système de commande pour une ouverture/fermeture à distance et une coupure d’urgence du gaz.

Applications : armoires à gaz spécialisées entièrement automatisées, systèmes de distribution de gaz dangereux nécessitant une coupure d’urgence, et systèmes automatiques de commutation entre deux sources.

Gaz compatibles : gaz pyrophoriques, hautement toxiques ou fortement corrosifs tels que le silane (SiH₄), la phosphine (PH₃) et le chlore (Cl₂).

4. Panneau automatique de commutation entre deux sources

Équipé de raccordements pour une source principale et une source de secours, ce panneau bascule automatiquement vers l’alimentation de secours lorsque la source principale est épuisée — sans interruption ni fluctuation de pression. Il intègre des régulateurs à deux étages, des clapets anti-retour et des modules de surveillance de pression.

Applications : Lignes de production continues et postes de procédé critiques où l’alimentation en gaz ne peut être interrompue, tels que le dépôt et la gravure de semi-conducteurs.

Gaz adaptés : SiH₄, NH₃, CF₄ et autres gaz de procédé requis en continu.

5. Panneau de mélange de gaz et de régulation des rapports

Ce panneau intègre des débitmètres massiques (MFC), des vannes proportionnelles et une chambre de mélange ; il contrôle précisément le rapport de débit de deux gaz ou plus, avec une précision de mélange de ±1 % de la pleine échelle.

Applications : Dépôt chimique en phase vapeur (CVD), gravure plasma, soudage sous protection gazeuse et préparation de gaz étalons en laboratoire.

Gaz adaptés : H₂/N₂, Ar/O₂ et autres mélanges binaires ou multicomposants de gaz.

6. Panneau de gaz spéciaux haute pureté (raccordement VCR)

Construit en acier inoxydable 316L avec des surfaces intérieures électropolies (EP) (Ra ≤ 0,25 μm), ce panneau utilise exclusivement des raccords métalliques à joint d’étanchéité VCR afin d’éliminer les fuites et la contamination. Équipé de régulateurs haute pureté et de filtres en ligne, il répond aux exigences de pureté au niveau des parties par billion (ppb). Chaque unité est testée à l’hélium pour détecter les fuites et vérifiée quant aux particules avant expédition.

Applications : Fabrication de wafers semi-conducteurs, emballage avancé, cellules photovoltaïques et distribution de gaz en salle blanche.

Gaz compatibles : Argon (Ar), hélium (He), azote (N₂), silane (SiH₄), trichlorosilane (SiHCl₃) et autres gaz vecteurs ou réactifs haute pureté.