Speciální řídicí panely pro plyny: Jádro regulace tlaku a bezpečnostního řízení

1. Základní ručně ovládaný panel

Tento panel integruje ruční kulové kohouty, tlakový regulátor a tlakoměr. Obsluha ručně nastavuje výstupní tlak a řídí tok plynu. Díky jednoduché konstrukci je snadno ovladatelný a údržbářsky příznivý. Pro různé požadavky na přesnost tlaku jsou k dispozici jednostupňové i dvoustupňové regulační obvody.

Aplikace: Laboratorní potrubní systémy, malé a střední výrobní linky a záložní stanice pro přepínání plynů s přítomností obsluhy na místě.

Použitelné plyny: Dusík (N₂), argon (Ar), helium (He), oxid uhličitý (CO₂) a jiné inertní nebo nekorozivní plyny.

2. Panel pro dálkové sledování tlaku

Založen na základním panelu; tento typ je doplněn tlakovými snímači, které převádějí signály tlaku na vstupu/výstupu na standardní elektrické signály 4–20 mA pro dálkové sledování v centrálním řídicím systému. Místní manometry a ruční uzavírací kohouty jsou zachovány pro provoz na místě. Podporuje reálné poplachy a záznam dat.

Aplikace: Bezobslužné plynárenské stanice, speciální plynové místnosti se sledováním na dálku, nepřetržité výrobní linky s přísnými požadavky na stabilitu tlaku.

Použitelné plyny: Jedovaté nebo korozivní plyny, např. sirovodík (H₂S) a amoniak (NH₃), stejně jako hořlavé plyny, např. vodík (H₂).

3. Panel s elektromagnetickými uzavíracími kohouty

Tento panel je vybaven elektromagnetickými uzavíracími ventily, které reagují na signály řídícího systému pro dálkové otevírání/zavírání a nouzové vypnutí plynu. Je integrován s požárními poplachy a systémy detekce plynu, aby automaticky vypnul přívod plynu za neobvyklých podmínek.

Použití: Plně automatizované skříně pro speciální plyny, systémy dodávky nebezpečných plynů vyžadující nouzové vypnutí a systémy automatického přepínání mezi dvěma zdroji.

Použitelné plyny: Pyroforické, vysoce toxické nebo silně korozivní plyny, například silan (SiH₄), fosfin (PH₃) a chlor (Cl₂).

4. Panel pro automatické přepínání mezi dvěma zdroji

Panel je vybaven připojeními pro hlavní i záložní zdroj plynu a automaticky přepne na záložní zásobu, jakmile dojde hlavní zdroj – bez přerušení toku ani kolísání tlaku. Obsahuje regulátory dvou stupňů, zpětné ventily a moduly pro monitorování tlaku.

Aplikace: Nepřetržité výrobní linky a kritické procesní stanice, kde nelze přerušit dodávku plynu, například u usazování a leptání polovodičů.

Použitelné plyny: SiH₄, NH₃, CF₄ a další procesní plyny vyžadované nepřetržitě.

5. Panel pro míchání plynů a řízení jejich poměru

Tento panel integruje regulátory průtoku hmotnosti (MFC), proporcionální ventily a míchací komoru a umožňuje přesně řídit poměr průtoku dvou nebo více plynů s přesností míchání ±1 % rozsahu měření (FS).

Aplikace: Chemické vylouhování z par (CVD), plazmové leptání, svařování pod ochrannou atmosférou a příprava standardních plynových směsí v laboratořích.

Použitelné plyny: H₂/N₂, Ar/O₂ a jiné binární či vícesložkové plynné směsi.

6. Panel pro vysokofrekvenční speciální plyny (připojení VCR)

Sestaveno z nerezové oceli 316L s elektrolyticky leštěnými (EP) vnitřními povrchy (Ra ≤0,25 μm); tento panel používá po celé délce kovová těsnění typu VCR, aby se zabránilo únikům a kontaminaci. Vybaveno regulátory a průtokovými filtry pro vysokou čistotu; splňuje požadavky na čistotu na úrovni ppb. Každá jednotka je před expedicí testována na únik helia a zkontrolována na přítomnost částic.

Aplikace: Výroba polovodičových waferů, pokročilé balení, fotovoltaické články a dodávka plynů do čistých prostor.

Použitelné plyny: Vysokofrekvenční Ar, He, N₂, silan (SiH₄), trichlorsilan (SiHCl₃) a jiné nosné nebo reaktivní plyny.