Panel Pengendali Gas Khusus: Inti dari Pengaturan Tekanan dan Pengendalian Keamanan

1. Panel Kontrol Manual Dasar

Panel ini mengintegrasikan katup bola manual, regulator tekanan, dan pengukur tekanan. Operator menyesuaikan tekanan keluaran dan mengontrol aliran gas secara manual. Strukturnya yang sederhana memudahkan pengoperasian dan perawatan. Sirkuit regulasi satu tahap atau dua tahap tersedia sesuai kebutuhan akurasi tekanan yang berbeda.

Aplikasi: Jalur laboratorium, jalur produksi skala kecil hingga menengah, serta stasiun pergantian gas cadangan dengan personel di lokasi.

Gas yang sesuai: Nitrogen (N₂), argon (Ar), helium (He), karbon dioksida (CO₂), serta gas inert atau non-korosif lainnya.

2. Panel Pemantauan Tekanan Jarak Jauh

Dibangun berdasarkan panel dasar, tipe ini menambahkan transmitter tekanan yang mengubah sinyal tekanan masuk/keluar menjadi sinyal listrik standar 4–20 mA untuk pemantauan jarak jauh di sistem kontrol pusat. Pengukur tekanan lokal dan katup manual tetap dipertahankan guna operasi di lokasi. Mendukung peringatan waktu nyata dan pencatatan data.

Aplikasi: Stasiun gas tanpa awak, ruang gas khusus yang dipantau dari jarak jauh, serta jalur produksi berkelanjutan dengan persyaratan stabilitas tekanan yang ketat.

Gas yang sesuai: Gas beracun atau korosif seperti hidrogen sulfida (H₂S) dan amonia (NH₃), serta gas mudah terbakar seperti hidrogen (H₂).

3. Panel Pemutus Otomatis Katup Solenoid

Panel ini dilengkapi katup penutup solenoida yang merespons sinyal sistem kontrol untuk operasi pembukaan/penutupan jarak jauh serta pemutusan gas darurat. Panel ini terintegrasi dengan sistem alarm kebakaran dan sistem deteksi gas guna memutus pasokan gas secara otomatis dalam kondisi tidak normal.

Aplikasi: Kabinet gas khusus sepenuhnya otomatis, sistem pengiriman gas berbahaya yang memerlukan pemutusan darurat, serta sistem beralih-otomatis sumber ganda.

Gas yang sesuai: Gas piroforik, sangat toksik, atau sangat korosif seperti silana (SiH₄), fosfin (PH₃), dan klorin (Cl₂).

4. Panel Beralih-Otomatis Sumber Ganda

Dilengkapi koneksi sumber gas utama dan cadangan, panel ini beralih secara otomatis ke pasokan cadangan ketika sumber utama habis—tanpa gangguan maupun fluktuasi tekanan. Panel ini mencakup regulator dua-tahap, katup periksa, serta modul pemantau tekanan.

Aplikasi: Jalur produksi kontinu dan stasiun proses kritis di mana pasokan gas tidak boleh terganggu, seperti deposisi dan etsa semikonduktor.

Gas yang sesuai: SiH₄, NH₃, CF₄, dan gas proses lain yang diperlukan secara kontinu.

5. Panel Pencampuran Gas dan Pengendali Rasio

Panel ini mengintegrasikan pengendali aliran massa (MFC), katup proporsional, dan ruang pencampuran, sehingga mampu mengatur rasio aliran dua gas atau lebih secara presisi, dengan akurasi pencampuran hingga ±1% FS.

Aplikasi: CVD, etsa plasma, pengelasan dengan pelindung gas, serta persiapan gas standar di laboratorium.

Gas yang sesuai: H₂/N₂, Ar/O₂, dan campuran gas biner atau multi-komponen lainnya.

6. Panel Gas Khusus Berke-murnian Tinggi (Koneksi VCR)

Dibuat dari baja tahan karat 316L dengan permukaan dalam yang dipoles elektrolitik (EP) (Ra ≤0,25 μm), panel ini menggunakan fitting segel wajah logam VCR di seluruh bagian untuk menghilangkan kebocoran dan kontaminasi. Dilengkapi regulator berke-murnian tinggi dan filter sepanjang aliran, panel ini memenuhi persyaratan kemurnian tingkat ppb. Setiap unit diuji kebocoran helium dan diperiksa partikelnya sebelum pengiriman.

Aplikasi: Fabrikasi wafer semikonduktor, pengemasan canggih, sel fotovoltaik, serta pengiriman gas di ruang bersih.

Gas yang sesuai: Ar, He, N₂, silana (SiH₄), trichlorosilana (SiHCl₃), dan gas pembawa atau reaktif lainnya berke-murnian tinggi.