EN
AR
HR
CS
NL
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
VI
MT
TH
TR
AF
MS
AZ
Специальные панели управления газом: основа регулирования давления и обеспечения безопасности
Специальная панель управления газом (специальный газ) является центральным управляющим устройством в системе подачи специальных газов. Она объединяет редукторы давления, запорные клапаны, манометры, датчики и трубопроводную арматуру — всё это смонтировано на стандартизированной панели. Её основная функция — регулирование, стабилизация и контроль давления подаваемого газа, что обеспечивает безопасную и непрерывную подачу газа к технологическому оборудованию на последующих этапах.
Такие панели широко применяются в высокотехнологичных отраслях производства, включая полупроводниковую промышленность, фотогальванику, TFT-LCD и биофармацевтику, где стабильность давления и бесперебойный поток газа имеют решающее значение для качества продукции и безопасности производства.
Типы и функции
1. Базовая панель ручного управления
Эта панель включает ручные шаровые клапаны, редуктор давления и манометр. Операторы вручную регулируют выходное давление и управляют потоком газа. Простая конструкция обеспечивает лёгкость эксплуатации и обслуживания. Доступны схемы регулирования с одним или двумя каскадами в зависимости от требований к точности поддержания давления.
Применение: лабораторные трубопроводы, производственные линии малого и среднего масштаба, а также резервные станции переключения газов с присутствием персонала на месте.
Подходящие газы: азот (N₂), аргон (Ar), гелий (He), углекислый газ (CO₂) и другие инертные или некоррозионные газы.
2. Панель дистанционного контроля давления
Основана на базовой панели; в неё добавлены датчики давления, преобразующие сигналы давления на входе/выходе в стандартные электрические сигналы 4–20 мА для дистанционного контроля центральной системой управления. Местные манометры и ручные клапаны сохранены для работы на месте. Поддерживает функции сигнализации в реальном времени и регистрации данных.
Применение: автоматизированные газовые станции без персонала, специализированные газовые помещения с дистанционным контролем, непрерывные производственные линии с жёсткими требованиями к стабильности давления.
Подходящие газы: токсичные или коррозионные газы, например сероводород (H₂S) и аммиак (NH₃), а также воспламеняющиеся газы, например водород (H₂).
3. Панель автоматического отключения с использованием электромагнитных клапанов
Этот пульт оснащён электромагнитными запорными клапанами, реагирующими на сигналы системы управления для дистанционного открытия/закрытия и аварийного перекрытия подачи газа. Он интегрируется с системами пожарной сигнализации и обнаружения газа для автоматического отключения подачи газа при возникновении нештатных ситуаций.
Области применения: полностью автоматизированные шкафы для специальных газов, системы подачи опасных газов с функцией аварийного отключения, а также системы автоматического переключения между двумя источниками питания.
Подходящие газы: пирофорные, высокотоксичные или сильно коррозионно-активные газы, такие как силан (SiH₄), фосфин (PH₃) и хлор (Cl₂).
4. Пульт автоматического переключения между двумя источниками
Оснащён подключениями к основному и резервному источникам газа; при исчерпании основного источника пульт автоматически переключается на резервный — без перерывов в подаче и колебаний давления. Включает двухступенчатые редукторы, обратные клапаны и модули контроля давления.
Применение: непрерывные производственные линии и критически важные технологические участки, где подача газа не может быть прервана, например, осаждение и травление в полупроводниковой промышленности.
Подходящие газы: SiH₄, NH₃, CF₄ и другие технологические газы, требуемые непрерывно.
5. Панель смешивания газов и регулирования соотношения компонентов
В состав этой панели входят контроллеры массового расхода (MFC), пропорциональные клапаны и смесительная камера; она обеспечивает точный контроль соотношения расходов двух и более газов с точностью смешивания ±1 % от предела шкалы.
Применение: химическое осаждение из газовой фазы (CVD), плазменное травление, сварка в защитной газовой среде и приготовление стандартных газовых смесей в лабораториях.
Подходящие газы: H₂/N₂, Ar/O₂ и другие двухкомпонентные или многокомпонентные газовые смеси.
6. Панель высокочистых специальных газов (соединение типа VCR)
Изготовлен из нержавеющей стали марки 316L с электрополированными (EP) внутренними поверхностями (Ra ≤0,25 мкм); для устранения утечек и загрязнений используется металлическое уплотнение по лицевой поверхности VCR на всех соединениях. Оснащён регуляторами высокой чистоты и встроенными фильтрами; соответствует требованиям к чистоте на уровне ppb. Каждое устройство проходит проверку на герметичность гелием и контроль содержания частиц перед отгрузкой.
Области применения: производство полупроводниковых пластин, передовые технологии упаковки, фотоэлектрические элементы и подача газов в чистых помещениях.
Подходящие газы: высокочистые Ar, He, N₂, силан (SiH₄), трихлорсилан (SiHCl₃) и другие транспортные или реакционные газы.