EN
AR
HR
CS
NL
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
VI
MT
TH
TR
AF
MS
AZ
Pannelli Speċjali ta’ Kontroll tal-Gass: Il-Biżaħ ta’ Rregolazzjoni tad-Pressjoni u ta’ Kontroll tas-Sigurtà
Il-pannellu ta’ kontroll gass speċjali (gass speċjali) huwa l-unità ċentrali ta’ kontroll fis-sistema ta’ distribuzzjoni ta’ gass speċjali. Jidħol fir-regulaturi tal-preżjoni, il-valvuli ta’ għeluq, il-manometri, is-sensuri u l-attakki tal-pipe-line – kollha imwaħħla fuq pannel standardizzat. Il-funzjoni ewlenija tagħmel hija li rregola, tistabbilizza u tmonitora l-preżjoni tas-suppli ta’ gass, b’mod li jekk jiżda l-gass b’sigurtà u b’mod kontinwu għall-equipaġġji tal-proċess li jinsabu ‘l isfel.
Dawn il-panelli huma wżati ħafna fis-setturi tal-manifattura għolja bħas-semikundutturi, iż-żewġa fotovoltaïka, it-TFT-LCD u l-bijofarmaceutiċi, fejn il-preżjoni stabbli u l-fluss ta’ gass mingħajr interruzjoni huma kritiċi għall-kwalità tal-produzzjoni u għas-sigurtà.
Tipi u Funzjonijiet
1. Pannell Bażiku ta’ Kontroll Manwali
Dan il-pannell jidħol fil-valvuli sferiċi manwali, regulatur tal-preżjoni u manometru. Il-baħħara jirregolaw il-preżjoni tal-użu u jikkontrollaw il-fluss ta’ gass bil-mod manwali. Il-biżża struttura tagħmelu faċli biex jintużaw u tiżdaw. Ħaġa waħda jew tnejn ta’ ċirkuiti ta’ regolazzjoni huma disponibbli għal differenti meħtieġijiet ta’ preċiżjoni tal-preżjoni.
Applikazzjonijiet: Pipelini tal-laboratorju, linji ta’ produzzjoni b’sużi u stazzjonijiet għall-bidla tal-gass b’sużi b’persunal preżenti.
Gassijiet assoċjati: Nitroġenu (N₂), argon (Ar), eliu (He), diossidu tal-karbonju (CO₂), u gassijiet oħra inerti jew li ma jkunux korrozivi.
2. Pannello għall-Monitoraġġ Remot tal-Pressjoni
Ibbażat fuq il-pannel bażiku, din it-tip aġġiunt l-istrumenti għall-misura tal-pressjoni li jikkonvertu s-sinjali tal-pressjoni tal-ingress/egress f’sinjali elettriċi standard ta’ 4–20mA għall-monitoraġġ remot fis-sistema ċentrali ta’ kontroll. Il-manometri lokali u l-valvuli manwali jibqgħu preżenti għall-ożizzjoni lokali. Jappoġġja allarmi b’ħajt u r-reġistrazzjoni tad-data.
Applikazzjonijiet: Stazzjonijiet tal-gass mingħajr persunal, kamri għall-gass speċjali b’mexxej remot, u linji ta’ produzzjoni kontinwa b’rekwiżiti strikti għall-istabbiltà tal-pressjoni.
Gassijiet assoċjati: Gassijiet tossiċi jew korrozivi bħas-sulfur idroġenu (H₂S) u l-ammonja (NH₃), kif ukoll gassijiet infiammabbli bħal-idroġenu (H₂).
3. Pannello għall-Ittajjeb Awtomatiku bil-Valv Solenoid
Din il-panell huwa eżempju b'valvuli ta' ħażża b'solenoid li jirrispondu bil-mexxej tal-kontroll għall-oħloq/ġulb remot u għall-interruzzjoni ta' emergenza tal-gass. Huwa integrat mal-alarmi tan-nar u mis-sistemi tat-tbaqqir tal-gass biex jiwżżlu l-fornitura tal-gass b'mod awtomatiku f'kundizzjonijiet anormali.
Applikazzjonijiet: Kabinetti awtomatiċi ħajjin tal-gass speċjali, sistemi ta' distribuzzjoni tal-gass perikolużi li jtejjbu l-interruzzjoni ta' emergenza, u sistemi awtomatiċi ta' bissur minn sors doppju.
Gassijiet assoċjati: Gassijiet piruforiċi, altament tossiċi jew fortemente korrużivi bħas-silan (SiH₄), il-fosfin (PH₃), u l-kloru (Cl₂).
4. Panell ta' Bissur Awtomatiku minn Sors Doppju
B'konnessjonijiet għall-gass tas-sors ewlieni u tas-sors ta' ġużina, dan il-panell iswitsja awtomatikament għas-sors ta' ġużina meta l-isurs ewlieni jitħallas — mingħajr interruzzi jew bbażzal tal-prezzjoni. Jinkludi regolaturi ta' darbta doppja, valvuli ta' ħażża, u moduli tat-taqsir tal-prezzjoni.
Applikazzjonijiet: Linji ta’ produzzjoni kontinwa u stazzjonijiet kritiċi tal-proċess li jkollu bżonn ta’ supplica ta’ gass li ma tkunx tistax tinterruppa, bħal id-depożizzjoni u l-etching tas-semikundutturi.
Gassijiet assoċjati: SiH₄, NH₃, CF₄, u oħra gassijiet tal-proċess meħtieġa kontinwament.
5. Pannello għall-Iżda tal-Gass u għall-Kontroll tar-Rażjo
Dan il-pannel, li jidħol fih kontrolluri tal-fluss tal-massa (MFCs), valvuli proporzjonali u ċamera ta’ iżda, jikkontrolla b’mod preċiż ir-rażjo tal-fluss ta’ żewġ jew aktar gassijiet, b’accuratezza ta’ iżda ta’ ±1% FS.
Applikazzjonijiet: CVD, etching bil-plasma, il-biżka b’gass protett, u l-preparazzjoni tal-gass standard fil-laboratorju.
Gassijiet assoċjati: H₂/N₂, Ar/O₂, u oħra misturi binarji jew multi-komponenti ta’ gass.
6. Pannello għall-Gass Speċjali ta’ Għoli Purità (Konnezzjoni VCR)
Ibbinu mis-316L stainless steel b’as-sħaħ ta’ ġewwa li ġewwa ġewwa (EP) (Ra ≤0.25μm), din il-pannella tużaw il-fittings tal-biża’ tal-metall VCR b’mod li tneħħi l-lekka u t-taħsija. B’regolaturi ta’ għoli ħelsien u bil-filtri f’linja, tissodisfa r-rekwiżiti ta’ ħelsien fil-livell ta’ ppb. Kull unità tintestja bl-eliu għall-lekka u tifformi l-partikuli qabel it-taħlita.
Applikazzjonijiet: Il-produzzjoni ta’ wafer semikondukturi, il-pakkett aħħar, iċ-ċelluli fotovoltaïki, u l-ipprovvizjonament tal-gass fir-rumi nnużi.
Gassijiet assoċjati: Ar, He, N₂, silan (SiH₄), triclorosilan (SiHCl₃), u gassijiet oħra ta’ trasport jew reattivi ta’ għoli ħelsien.