Özel Gaz Kontrol Panelleri: Basınç Düzenleme ve Güvenlik Kontrolünün Merkezi

1. Temel Manuel Kontrol Paneli

Bu panel, manuel küresel vanaları, bir basınç regülatörünü ve bir basınç göstergesini entegre eder. Operatörler çıkış basıncını ve gaz akışını elle ayarlar. Basit yapısı sayesinde kullanımı ve bakımı kolaydır. Farklı basınç doğruluk gereksinimleri için tek veya çift kademe regülasyon devreleri mevcuttur.

Uygulamalar: Laboratuvar boru hatları, küçük-orta ölçekli üretim hatları ve sahada personel bulunan yedek gaz geçiş istasyonları.

Uygun gazlar: Azot (N₂), argon (Ar), helyum (He), karbon dioksit (CO₂) ve diğer inert veya aşındırıcı olmayan gazlar.

2. Uzaktan Basınç İzleme Panosu

Temel panel üzerine inşa edilmiştir; bu tür, giriş/çıkış basınç sinyallerini uzaktan merkezi kontrol sisteminde izlenmek üzere standart 4–20 mA elektriksel sinyallere dönüştüren basınç transdüserleri ekler. Yerel manometreler ve elle çalıştırılan valfler, sahada işlem yapılması amacıyla korunur. Gerçek zamanlı alarm ve veri kaydı destekler.

Uygulamalar: İnsansız gaz istasyonları, uzaktan izlenen özel gaz odaları, basınç sabitliği açısından sıkı gereksinimleri olan sürekli üretim hatları.

Uygun gazlar: Hidrojen sülfür (H₂S) ve amonyak (NH₃) gibi toksik veya aşındırıcı gazlar ile hidrojen (H₂) gibi yanıcı gazlar.

3. Manyetik Valf Otomatik Kapatma Panosu

Bu panel, uzaktan açma/kapama işlemi ve acil gaz kesme için kontrol sistemi sinyallerine yanıt veren manyetik kapatma vanalarıyla donatılmıştır. Yangın alarm sistemleriyle ve gaz tespit sistemleriyle entegre çalışarak anormal koşullar altında otomatik olarak gaz kaynağını keser.

Uygulamalar: Tamamen otomatik özel gaz dolapları, acil kapatma gerektiren tehlikeli gaz dağıtım sistemleri ve çift kaynaklı otomatik geçiş sistemleri.

Uygun gazlar: Piroforik, yüksek derecede toksik veya güçlü korozif özellikte gazlar; örneğin silan (SiH₄), fosfin (PH₃) ve klor (Cl₂).

4. Çift Kaynaklı Otomatik Geçiş Paneli

Ana ve yedek gaz kaynağı bağlantılarıyla donatılmış bu panel, ana kaynağın tükenmesi durumunda kesinti veya basınç dalgalanması olmadan otomatik olarak yedek kaynağa geçişi sağlar. İki kademe regülatör, çek valfler ve basınç izleme modülleri içerir.

Uygulamalar: Gaz tedariki kesintiye uğramayacak şekilde sürekli üretim hatları ve kritik süreç istasyonları; örneğin yarı iletken biriktirme ve aşındırma işlemleri.

Uygun gazlar: SiH₄, NH₃, CF₄ ve diğer sürekli olarak gereken süreç gazları.

5. Gaz Karıştırma ve Oran Kontrol Paneli

Kütle akış kontrol cihazlarını (MFC'ler), oransal vanaları ve karıştırma odasını entegre eden bu panel, iki veya daha fazla gazın akış oranını hassas bir şekilde kontrol eder ve ±1% FS karıştırma doğruluğu sağlar.

Uygulamalar: Kimyasal buhar biriktirme (CVD), plazma aşındırma, gaz korumalı kaynaklama ve laboratuvar standart gaz hazırlama.

Uygun gazlar: H₂/N₂, Ar/O₂ ve diğer ikili ya da çok bileşenli gaz karışımları.

6. Yüksek Safiyetli Özel Gaz Paneli (VCR Bağlantısı)

Bu panel, sızıntı ve kontaminasyonu ortadan kaldırmak için tamamı VCR metal yüzey contalı bağlantı elemanları kullanan, iç yüzeyleri elektropolislenmiş (EP) 316L paslanmaz çelikten üretilmiştir (Ra ≤0,25 μm). Yüksek saflıkta regülatörler ve hat içi filtrelerle donatılmıştır ve ppb düzeyinde saflık gereksinimlerini karşılar. Her bir birim, sevk edilmeden önce helyum sızdırmazlık testine tabi tutulur ve parçacık kontrolü yapılır.

Uygulamalar: Yarı iletken silikon wafers üretimi, gelişmiş paketleme teknolojileri, fotovoltaik hücreler ve temiz oda gaz dağıtım sistemleri.

Uygun gazlar: Yüksek saflıkta Ar, He, N₂, silan (SiH₄), triklorosilan (SiHCl₃) ve diğer taşıyıcı veya reaktif gazlar.