Specialiserade gasstyrpaneler: Kärnan i tryckreglering och säkerhetsstyrning

1. Grundläggande manuell styrpanel

Denna panel integrerar manuella kulventiler, en tryckregulator och en tryckmätare. Operatörer justerar utgående tryck och styr gasflödet manuellt. Dess enkla konstruktion gör den lätt att driva och underhålla. Enkel- eller dubbelstegsregleringskretsar finns tillgängliga för olika krav på trycknoggrannhet.

Applikationer: Laboratorieprocesser, små till medelstora produktionslinjer samt reservgasomställningsstationer med personal på plats.

Lämpliga gaser: Kväve (N₂), argon (Ar), helium (He), koldioxid (CO₂) samt andra inerta eller icke-korrosiva gaser.

2. Fjärrövervakning av tryck

Byggd på grundpanelen; denna typ inkluderar trycktransmitter som omvandlar inkommande/utgående trycksignal till standardiserade 4–20 mA elektriska signaler för fjärrövervakning i ett centralt styrsystem. Lokala manometrar och manuella ventiler behålls för drift på plats. Stödjer realtidslarm och dataloggning.

Applikationer: Obemannade gasstationer, specialgasrum med fjärrövervakning, kontinuerliga produktionslinjer med strikta krav på tryckstabilitet.

Lämpliga gaser: Giftiga eller korrosiva gaser såsom vätebrunst (H₂S) och ammoniak (NH₃), samt brandfarliga gaser såsom väte (H₂).

3. Automatisk avstängningspanel med magnetventil

Denna panel är utrustad med magnetventiler som svarar på signaler från kontrollsystemet för fjärrstyrda öppnings-/stängningsfunktioner och nödstopp av gasförsörjningen. Den integreras med brandlarm och gaskännarsystem för att automatiskt stänga av gasförsörjningen vid ovanliga förhållanden.

Tillämpningar: Fullt automatiserade specialgas-skåp, farlig gasfördelningssystem som kräver nödstopp samt tvåkällors automatiska växlingsystem.

Lämpliga gaser: Pyrofora, starkt giftiga eller kraftigt korrosiva gaser, såsom silan (SiH₄), fosfin (PH₃) och klor (Cl₂).

4. Tvåkällors automatisk växlingspanel

Utrustad med anslutningar för primär och reservgasförsörjning växlar denna panel automatiskt till reservförsörjningen när den primära källan tar slut – utan avbrott eller trycksvängningar. Den innehåller tvåstegsregulatorer, backventiler och tryckövervakningsmoduler.

Applikationer: Kontinuerliga produktionslinjer och kritiska processstationer där gasförsörjning inte får avbrytas, till exempel halvledaravlagring och ätning.

Lämpliga gaser: SiH₄, NH₃, CF₄ och andra kontinuerligt krävda processgaser.

5. Gasblandnings- och förhållningskontrollpanel

Denna panel integrerar massflödesregulatorer (MFC), proportionella ventiler och en blandkammare och styr exakt flödesförhållandet mellan två eller flera gaser, med en blandningsnoggrannhet på ±1 % av fullskalan.

Applikationer: CVD, plasmaätning, gasskyddad svetsning och laboratoriestandardgasframställning.

Lämpliga gaser: H₂/N₂, Ar/O₂ och andra binära eller flerkomponentiga gasblandningar.

6. Panel för högpure specialgas (VCR-anslutning)

Tillverkad av rostfritt stål 316L med elektropolerade (EP) innytor (Ra ≤0,25 μm); denna panel använder VCR-metallanslutningar med yttätningsfunktion genom hela systemet för att eliminera läckage och kontaminering. Utrustad med högrena reglerventiler och radfilter uppfyller den renhetskrav på ppb-nivå. Varje enhet testas för heliumläckage och partiklar innan leverans.

Tillämpningar: Halvledarwaferframställning, avancerad förpackning, solceller och gasförsörjning i rena rum.

Lämpliga gaser: Högrengas Ar, He, N₂, silan (SiH₄), trichlorsilan (SiHCl₃) samt andra bärgas- eller reaktiva gaser.