Wofly Technology — Đảm bảo Chất lượng và An toàn Đường ống Khí Phòng Thí nghiệm

Tổng Quan

Đường ống khí phòng thí nghiệm là cơ sở hạ tầng then chốt cho nghiên cứu khoa học, kiểm tra và sản xuất chính xác. Các loại khí như H₂, O₂, N₂, Ar, He, NH₃ và SiH₄ phải được cung cấp với áp suất ổn định, độ tinh khiết cao và lưu lượng đồng đều để đảm bảo kết quả thí nghiệm có thể lặp lại và vận hành thiết bị an toàn.

1. Rủi ro An toàn & Yêu cầu Chất lượng

01 Phân loại Khí

02 Rủi ro cốt lõi

Sự rò rỉ

● — Thường gặp nhất tại gioăng van, khớp nối VCR, mối hàn và mặt bích. Sự tích tụ khí dễ cháy có thể đạt đến giới hạn nổ; khí độc gây nguy hiểm trực tiếp cho nhân viên.

Nhiễm bẩn độ tinh khiết

● — Các hạt bụi, độ ẩm và ion kim loại từ bề mặt trong của ống làm giảm độ tinh khiết. Hệ thống độ tinh khiết cao yêu cầu độ nhám bề mặt trong Ra ≤ 0,4 μm.

Bất thường về áp suất

● — Sự cố bộ điều áp hoặc chuyển đổi nguồn khí gây ra hiện tượng tăng đột ngột hoặc dao động áp suất, ảnh hưởng đến độ an toàn thiết bị và độ ổn định thí nghiệm.

Sự ăn mòn vật liệu

● Tay cầm làm từ thép không gỉ 316L chịu được khí NH₃ và khí kiềm; hợp kim Hastelloy hoặc Monel bắt buộc phải dùng cho Cl₂ và chất oxy hóa mạnh.

tiêu chuẩn chất lượng 03

Vật liệu

● Ống dẫn điện phân bóng (EP) bằng thép không gỉ 316L dành cho khí độ tinh khiết cao; ống dẫn liền mạch bằng thép không gỉ 304 dành cho sử dụng chung.

Nối

● Hàn GTAW quỹ đạo cho hệ thống độ tinh khiết cao; khớp nối kín mặt kim loại VCR với tốc độ rò rỉ ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s.

Kiểm tra

● Thử nghiệm thủy tĩnh (áp suất thiết kế × 1,5) → thử nghiệm khí nén (áp suất thiết kế × 1,15) → dò rò bằng máy phổ khối heli.

Tiêu chuẩn

● SEMI F20, GB 50177, GB 50029.

2. Giải pháp Công nghệ Wofly

dịch vụ kỹ thuật chu kỳ đầy đủ 01

Wofly Technology cung cấp dịch vụ trọn gói từ thiết kế đến vận hành

Thiết kế

● Bố trí bố cục được thiết kế riêng theo loại khí, lưu lượng, áp suất và phân bố đầu cuối. Khí dễ cháy, khí oxy hóa và khí ăn mòn được dẫn qua các đường ống độc lập hoặc tách biệt.

Mua sắm vật liệu

● Ống thép không gỉ 316L EP, van màng (không rò rỉ), và bộ điều chỉnh áp suất được lựa chọn sao cho phù hợp với yêu cầu về áp suất đầu vào và lưu lượng đầu ra.

Lắp đặt

● Cắt vòng tròn và hàn vòng tự động với hồ sơ quy trình hàn được chứng nhận (PQR). Khí argon được đưa vào bên trong ống trong quá trình hàn nhằm ngăn ngừa oxy hóa.

Bàn giao

● Thử nghiệm áp suất, phát hiện rò rỉ, xả khí, kiểm tra độ tinh khiết và bàn giao đầy đủ tài liệu kỹ thuật.

02 Thiết bị chính

Tủ chứa khí chuyên dụng (GC)

● Lưu trữ bình khí áp suất cao kèm thông gió tự động, cảnh báo rò rỉ và cửa chống nổ.

Bộ điều chỉnh áp suất (dòng WR1200)

● Giảm áp suất từ bình (15–20 MPa) xuống áp suất làm việc (0,1–0,8 MPa); thiết kế hai cấp với độ chính xác điều chỉnh ±2%; bề mặt bên trong đạt chuẩn EP.

Van màng (dòng MV4 / MVH4)

● Gioăng màng kim loại với độ kín tuyệt đối (không rò rỉ) và không cần bộ làm kín trục. MV4 dành cho khí cao tinh khiết tiêu chuẩn; MVH4 dành cho môi chất có nhiệt độ cao hoặc ăn mòn. Tuổi thọ hoạt động ≥ 100.000 chu kỳ mở/đóng.

Bảng điều khiển cấp khí (GSP)

● Tích hợp bộ điều áp, đồng hồ đo áp suất, van màng và lưu lượng kế theo thiết kế mô-đun nhằm giám sát tập trung áp suất/dòng chảy và bảo trì dễ dàng.

03 Công nghệ cốt lõi

Ống được điện phân bóng

● Bề mặt trong bằng thép 316L có độ nhám Ra ≤ 0,4 μm; lớp thụ động giàu crôm giảm thiểu tối đa việc hấp phụ hạt bụi và giải phóng ion.

Hàn tự động quỹ đạo

● Dòng hàn, tốc độ quay và tốc độ cấp dây hàn có thể lập trình; toàn bộ thông số được truy xuất đầy đủ cho từng mối hàn.

Gioăng kim loại mặt bích VCR

● Tỷ lệ rò rỉ ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s nhờ biến dạng dẻo của gioăng kim loại; thích hợp cho hệ thống siêu cao tinh khiết và chân không.

Xả và làm bất hoạt

● Xả khí trơ độ tinh khiết cao (N₂ hoặc Ar) với lưu lượng lớn để loại bỏ các hạt bụi và độ ẩm; các hệ thống nhạy cảm với oxy được xử lý thêm bằng quá trình làm bất hoạt nhằm tạo lớp oxit ổn định.