Wofly Technology — Laboratuvar Gaz Boru Hattı Kalite ve Güvenilirlik Garantisi

Genel Bakış

Laboratuvar gaz boru hatları, bilimsel araştırma, test ve hassas üretim için kritik altyapıdır. H₂, O₂, N₂, Ar, He, NH₃ ve SiH₄ gibi gazlar, tekrarlanabilir deneysel sonuçlar elde edilmesini ve ekipmanların güvenli çalışmasını sağlamak amacıyla sabit basınçta, yüksek saflıkta ve sürekli akışla iletilmelidir.

1. Güvenlik Riskleri ve Kalite Gereksinimleri

01 Gaz Sınıflandırmaları

02 Temel Riskler

Sızıntı

● — En çok valf contalarında, VCR bağlantılarında, kaynaklarda ve flanşlarda görülür. Yanıcı gaz birikimi patlama sınırlarına ulaşabilir; toksik gazlar doğrudan personel üzerinde tehlike oluşturur.

Safiyet Kirliliği

● — Boru iç yüzeylerinden kopan parçacıklar, nem ve metal iyonları safiyeti bozar. Yüksek saflıkta sistemlerde iç yüzey pürüzlülüğü Ra ≤ 0,4 μm olmalıdır.

Basınç Anormallıkları

● — Regülatör arızası veya gaz kaynağı değiştirilmesi basınç dalgalanmalarına veya ani artışlara neden olur; bu durum ekipman güvenliğini ve deney kararlılığını etkiler.

Malzeme Korozyonu

● — 316L paslanmaz çelik tutamaklar NH₃ ve alkalin gazları taşır; Cl₂ ve güçlü oksitleyiciler için Hastelloy veya Monel alaşımları gerekir.

03 Kalite Standartları

Malzeme

● Yüksek saflıkta gaz için 316L elektropolislenmiş (EP) boru; genel kullanım için 304 dikişsiz boru.

Birleştirme

● Yüksek saflık sistemleri için orbital GTAW kaynak; sızıntı oranı ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s olan VCR metal yüzey conta bağlantı elemanları.

Test etme

● Hidrostatik test (tasarım basıncının 1,5 katı) → Pnömatik test (1,15 katı) → Helyum kütle spektrometresi ile sızıntı tespiti.

Standartlar

● SEMI F20, GB 50177, GB 50029.

2. Wofly Teknoloji Çözümleri

01 Tam Döngü Mühendislik Hizmeti

Wofly Teknoloji, tasarımdan devreye alma aşamasına kadar uçtan uca hizmetler sunar

Tasarım

● Gaz türüne, akış hızına, basınca ve uç nokta dağıtımına göre özelleştirilmiş yerleşim. Yanıcı, oksitleyici ve aşındırıcı gazlar bağımsız veya ayrılmış boru hatlarından yönlendirilir.

Malzeme Temini

● 316L EP boru, membran vanalar (sıfır sızıntı) ve giriş basıncı ile çıkış akışı gereksinimlerine uygun basınç regülatörleri.

Montaj

● Orbital kesim ve otomatik orbital kaynak; nitelikli kaynak prosedür kayıtları (PQR) ile. Kaynak sırasında borunun içine argon verilerek oksidasyon önlenir.

Devreye Alma

● Basınç testi, kaçak tespiti, temizleme (purging), saflık doğrulaması ve tam belge teslimi.

02 Temel Ekipman

Özel Gaz Dolapları (GC)

● Yüksek basınçlı tüpleri otomatik havalandırma, kaçak alarmı ve patlama-proof kapılarla saklayın.

Basınç Regülatörleri (WR1200 Serisi)

● Tüp basıncını (15–20 MPa) çalışma basıncına (0,1–0,8 MPa) düşürür; ±%2 düzenleme doğruluğuna sahip iki kademe tasarımı; EP iç yüzey.

Membran Vanalar (MV4 / MVH4 Serisi)

● Sıfır sızıntıya sahip metal diyafram contası ve paklama flanşı yok. MV4, standart yüksek saflıkta gazlar için; MVH4, yüksek sıcaklık veya aşındırıcı ortamlar için. Hizmet ömrü ≥ 100.000 açma/kapama döngüsü.

Gaz Besleme Panoları (GSP)

● Regülatörleri, manometreleri, diyafram vanaları ve debimetreleri modüler bir tasarımda birleştirir; merkezi basınç/debi izleme ve kolay bakım sağlar.

03 Temel Teknoloji

Elektroparlatılmış Boru

● 316L iç yüzey Ra ≤ 0,4 μm; krom zengin pasif tabaka, parçacık adsorpsiyonunu ve iyon salınımını en aza indirir.

Yörüngesel Otomatik Kaynak

● Programlanabilir akım, dönme hızı ve tel ilerletme; her kaynak birleşimi için tam parametre izlenebilirliği.

VCR Metal Yüzey Contası

● Metal conta plastik deformasyonu ile kaçak oranı ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s; ultra yüksek saflıkta ve vakum sistemleri için uygundur.

Tahliye ve Pasivasyon

● Yüksek saflıkta N₂ veya Ar yüksek debili tahliyesi, parçacıkları ve nemi giderir; oksijen duyarlı sistemler, kararlı bir oksit tabakası oluşturmak için ilave pasivasyon işlemine tabi tutulur.