Wofly Technology — Jaminan Kualitas dan Keamanan Pipa Gas Laboratorium

Ikhtisar

Pipa gas laboratorium merupakan infrastruktur kritis bagi penelitian ilmiah, pengujian, dan manufaktur presisi. Gas seperti H₂, O₂, N₂, Ar, He, NH₃, dan SiH₄ harus disalurkan dengan tekanan stabil, kemurnian tinggi, serta aliran konsisten untuk memastikan hasil eksperimen yang dapat diulang dan operasi peralatan yang aman.

1. Risiko Keamanan & Persyaratan Kualitas

01 Klasifikasi Gas

02 Risiko Inti

Kebocoran

● — Paling umum terjadi pada packing katup, sambungan VCR, lasan, dan flensa. Akumulasi gas mudah terbakar dapat mencapai batas ledakan; gas beracun menimbulkan bahaya langsung bagi personel.

Kontaminasi Kemurnian

● — Partikel, kelembapan, dan ion logam dari permukaan dalam pipa menurunkan kemurnian. Sistem kemurnian tinggi memerlukan kekasaran permukaan dalam Ra ≤ 0,4 μm.

Anomali Tekanan

● — Kegagalan regulator atau pergantian sumber gas menyebabkan lonjakan atau fluktuasi tekanan, yang memengaruhi keselamatan peralatan dan stabilitas eksperimen.

Korosi Bahan

● — Pegangan baja tahan karat 316L mampu menahan gas NH₃ dan gas basa; diperlukan paduan Hastelloy atau Monel untuk Cl₂ dan oksidator kuat.

standar Kualitas 03

Bahan

● Pipa elektropolish (EP) 316L untuk gas berke-murnian tinggi; pipa tanpa sambungan 304 untuk penggunaan umum.

Penyambungan

● Pengelasan GTAW orbital untuk sistem berke-murnian tinggi; fitting segel permukaan logam VCR dengan laju kebocoran ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s.

Pengujian

● Uji tekanan statis (1,5× tekanan desain) → uji tekanan udara (1,15×) → deteksi kebocoran dengan spektrometer massa helium.

Standar

● SEMI F20, GB 50177, GB 50029.

2. Solusi Teknologi Wofly

layanan Rekayasa Siklus Penuh 01

Wofly Technology menyediakan layanan dari tahap desain hingga commissioning

Desain

● Tata letak yang disesuaikan berdasarkan jenis gas, laju aliran, tekanan, dan distribusi titik akhir. Gas mudah terbakar, pengoksidasi, dan korosif dialirkan melalui pipa yang terpisah atau independen.

Pengadaan Material

● Pipa tubular 316L EP, katup diafragma (tanpa kebocoran), serta regulator tekanan yang dipilih sesuai dengan kebutuhan tekanan masuk dan laju aliran keluar.

Pemasangan

● Pemotongan orbital dan pengelasan orbital otomatis dengan catatan prosedur pengelasan yang tersertifikasi (PQR). Pengisian argon di dalam pipa selama pengelasan mencegah oksidasi.

Penyalaan Awal

● Pengujian tekanan, deteksi kebocoran, pembersihan (purging), verifikasi kemurnian, serta penyerahan dokumentasi lengkap.

02 Peralatan Utama

Kabinet Gas Khusus (GC)

● Menyimpan tabung bertekanan tinggi dengan ventilasi otomatis, alarm kebocoran, serta pintu tahan ledakan.

Regulator Tekanan (Seri WR1200)

● Menurunkan tekanan tabung (15–20 MPa) menjadi tekanan kerja (0,1–0,8 MPa); desain dua tahap dengan akurasi regulasi ±2%; permukaan dalam EP.

Katup Diafragma (Seri MV4 / MVH4)

● Segel diafragma logam dengan kebocoran nol dan tanpa kelenjar packing. MV4 untuk gas berke-murnian tinggi standar; MVH4 untuk media bersuhu tinggi atau korosif. Masa pakai ≥ 100.000 siklus buka/tutup.

Panel Pasokan Gas (GSP)

● Mengintegrasikan regulator, pengukur tekanan, katup diafragma, dan meter aliran dalam desain modular untuk pemantauan terpusat tekanan/aliran serta perawatan yang mudah.

03 Teknologi Inti

Pipa Elektropolish

● Permukaan dalam 316L Ra ≤ 0,4 μm; lapisan pasif kaya kromium meminimalkan adsorpsi partikel dan pelepasan ion.

Pengelasan Otomatis Orbital

● Arus, kecepatan rotasi, dan umpan kawat dapat diprogram; seluruh parameter dapat dilacak per sambungan las.

Segel Permukaan Logam VCR

● Laju kebocoran ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s melalui deformasi plastis gasket logam; cocok untuk sistem ultra-berke-murnian tinggi dan vakum.

Pembersihan & Pasivasi

● Pembersihan aliran tinggi dengan N₂ atau Ar kemurnian tinggi menghilangkan partikel dan kelembapan; sistem yang sensitif terhadap oksigen menjalani pasivasi lebih lanjut untuk membentuk lapisan oksida stabil.