EN
AR
HR
CS
NL
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
VI
MT
TH
TR
AF
MS
AZ
Wofly Technology — การรับประกันคุณภาพและความปลอดภัยของท่อส่งก๊าซในห้องปฏิบัติการ
ภาพรวม
ท่อส่งก๊าซในห้องปฏิบัติการเป็นโครงสร้างพื้นฐานที่สำคัญยิ่งต่อการวิจัยทางวิทยาศาสตร์ การทดสอบ และการผลิตแบบความแม่นยำสูง ก๊าซต่าง ๆ เช่น H₂, O₂, N₂, Ar, He, NH₃ และ SiH₄ จำเป็นต้องจัดส่งด้วยความดันที่มั่นคง ความบริสุทธิ์สูง และอัตราการไหลที่สม่ำเสมอ เพื่อให้มั่นใจว่าผลการทดลองสามารถทำซ้ำได้และอุปกรณ์ทำงานอย่างปลอดภัย
1. ความเสี่ยงด้านความปลอดภัยและข้อกำหนดด้านคุณภาพ
01 การจัดกลุ่มก๊าซ
| ประเภท | ตัวอย่าง | อันตรายหลัก |
| เฉื่อย | N₂, Ar, He | ทำให้ขาดอากาศหายใจเมื่อมีความเข้มข้นสูง |
| ออกซิไดซิง | O₂, อากาศอัด | ช่วยสนับสนุนการลุกไหม้; ต้องใช้ท่อที่ไม่มีน้ำมัน |
| ลุกโชนได้ | H₂ (ระดับความเข้มข้นที่ทำให้เกิดการระเบิดได้ 4–75%), SiH₄ | เสี่ยงต่อการระเบิด; ต้องใช้ตู้เก็บก๊าซแบบเฉพาะทาง |
| กัดกร่อน | NH₃, Cl₂ | ท่อเกิดการกัดกร่อน; ต้องใช้อะลูมิเนียมผสมที่ทนต่อการกัดกร่อน |
ความเสี่ยงหลัก 2 ประการ
การรั่วไหล
● — มักเกิดขึ้นบริเวณซีลของวาล์ว ข้อต่อแบบ VCR รอยเชื่อม และหน้าแปลน ความเข้มข้นของก๊าซที่ติดไฟได้สามารถสูงถึงระดับที่ทำให้เกิดการระเบิดได้; ก๊าซพิษก่ออันตรายโดยตรงต่อบุคลากร
มลพิษต่อความบริสุทธิ์
● — อนุภาค ความชื้น และไอออนโลหะที่หลุดจากผิวด้านในของท่อทำให้คุณภาพความบริสุทธิ์ลดลง ระบบที่ต้องการความบริสุทธิ์สูงจำเป็นต้องมีความหยาบของผิวด้านในไม่เกิน Ra ≤ 0.4 ไมโครเมตร
ความผิดปกติของแรงดัน
● — การล้มเหลวของเร็กกูเลเตอร์ หรือการเปลี่ยนแหล่งจ่ายก๊าซ อาจก่อให้เกิดแรงดันพุ่งสูงขึ้นหรือผันแปร ส่งผลต่อความปลอดภัยของอุปกรณ์และความเสถียรของการทดลอง
การกัดกร่อนของวัสดุ
● ด้ามจับทำจากสแตนเลสสตีลเกรด 316L ทนต่อแอมโมเนีย (NH₃) และก๊าซที่มีฤทธิ์เป็นเบส; ต้องใช้อะลลอยด์เฮสเทลลอย (Hastelloy) หรือโมเนล (Monel) สำหรับก๊าซคลอรีน (Cl₂) และสารออกซิไดเซอร์ที่มีฤทธิ์แรง
มาตรฐานคุณภาพข้อ 03
วัสดุ
● ท่อก๊าซความบริสุทธิ์สูงผลิตจากสแตนเลสสตีลเกรด 316L ผ่านกระบวนการอิเล็กโตรโพลิช (EP); ท่อไร้รอยต่อเกรด 304 ใช้ทั่วไป
การเชื่อมต่อ
● การเชื่อมแบบออร์บิทัล GTAW สำหรับระบบที่ต้องการความบริสุทธิ์สูง; ข้อต่อแบบโลหะปิดผนึกหน้า (VCR metal face-seal) มีอัตราการรั่วไม่เกิน 1×10⁻⁹ พาสคาล·ลูกบาศก์เมตร/วินาที
การทดสอบ
● การทดสอบแรงดันน้ำ (hydrostatic test) ที่ความดัน 1.5 เท่าของความดันออกแบบ → การทดสอบแรงดันก๊าซ (pneumatic test) ที่ความดัน 1.15 เท่า → การตรวจจับการรั่วด้วยสเปกโตรมิเตอร์มวลฮีเลียม
มาตรฐาน
● มาตรฐาน SEMI F20, GB 50177, GB 50029
2. โซลูชันเทคโนโลยีวอฟไล (Wofly Technology Solutions)
บริการวิศวกรรมแบบครบวงจรข้อ 01
วอฟไล เทคโนโลยี (Wofly Technology) ให้บริการแบบครบวงจร ตั้งแต่การออกแบบจนถึงการส่งมอบและเริ่มใช้งานจริง
ดีไซน์
● จัดวางระบบให้เหมาะสมตามชนิดของก๊าซ อัตราการไหล ความดัน และการกระจายไปยังจุดปลายทาง ก๊าซที่ติดไฟได้ ก๊าซที่ช่วยในการเผาไหม้ และก๊าซกัดกร่อนจะถูกส่งผ่านท่อแยกจากกันอย่างสมบูรณ์หรือมีการแยกอย่างชัดเจน
การจัดหาวัสดุ
● ใช้ท่อสแตนเลสเกรด 316L แบบ EP วาล์วแบบไดอะแฟรม (ไม่มีการรั่วซึมเลย) และเร็กกูเลเตอร์ความดันที่คัดเลือกมาให้สอดคล้องกับความดันขาเข้าและข้อกำหนดอัตราการไหลขาออก
การติดตั้ง
● ตัดท่อแบบวงโคจรและเชื่อมแบบอัตโนมัติด้วยเทคนิควงโคจร พร้อมบันทึกขั้นตอนการเชื่อมที่ผ่านการรับรอง (PQR) ใช้แก๊สอาร์กอนพ่นเข้าไปในท่อระหว่างการเชื่อมเพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชัน
การตรวจรับรองระบบ
● ทดสอบความดัน ตรวจหาการรั่ว ล้างระบบ ตรวจสอบความบริสุทธิ์ และส่งมอบเอกสารครบถ้วน
02 อุปกรณ์หลัก
ตู้เก็บก๊าซพิเศษ (GC)
● เก็บถังก๊าซแรงดันสูงพร้อมระบบระบายอากาศอัตโนมัติ สัญญาณเตือนเมื่อมีการรั่ว และประตูแบบกันระเบิด
เร็กกูเลเตอร์ความดัน (ซีรีส์ WR1200)
● ลดความดันจากถังก๊าซ (15–20 เมกะพาสคาล) ลงเป็นความดันใช้งาน (0.1–0.8 เมกะพาสคาล) ออกแบบสองขั้นตอน ความแม่นยำในการควบคุม ±2% พื้นผิวด้านในแบบ EP
วาล์วแบบไดอะแฟรม (ซีรีส์ MV4 / MVH4)
● ซีลไดอะแฟรมโลหะไม่มีการรั่วซึมและไม่มีชุดซีลแบบแพ็คกิ้ง MV4 สำหรับก๊าซความบริสุทธิ์สูงมาตรฐาน; MVH4 สำหรับสื่อที่มีอุณหภูมิสูงหรือกัดกร่อน อายุการใช้งาน ≥ 100,000 รอบการเปิด/ปิด
แผงจ่ายก๊าซ (GSP)
● รวมเครื่องควบคุมความดัน มาตรวัด วาล์วไดอะแฟรม และมิเตอร์วัดอัตราการไหลในดีไซน์แบบโมดูล สำหรับการตรวจสอบความดัน/อัตราการไหลแบบรวมศูนย์และบำรุงรักษาง่าย
03 เทคโนโลยีหลัก
ท่ออิเล็กโทรพอลิช
● พื้นผิวด้านใน 316L Ra ≤ 0.4 μm; ชั้นผิวแบบพาสซีฟที่อุดมด้วยโครเมียมลดการดูดซับอนุภาคและการปล่อยไอออนให้ต่ำสุด
การเชื่อมอัตโนมัติแบบออร์บิทัล
● กระแสไฟฟ้า ความเร็วการหมุน และการป้อนลวดเชื่อมที่ตั้งค่าได้; การติดตามพารามิเตอร์ทั้งหมดสำหรับแต่ละข้อต่อการเชื่อม
ซีลหน้าแปลนโลหะ VCR
● อัตราการรั่วซึม ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s ผ่านการเปลี่ยนรูปพลาสติกของจี๊กเก็ตโลหะ; เหมาะสำหรับระบบอัลตราไฮเพียวริตี้และระบบสุญญากาศ
การล้างและทำให้เป็นกลาง
● การล้างด้วยก๊าซ N₂ หรือ Ar ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยอัตราการไหลสูง ช่วยขจัดอนุภาคและไอน้ำออก; ระบบที่ไวต่อออกซิเจนจะผ่านกระบวนการทำให้เป็นกลางเพิ่มเติม เพื่อสร้างชั้นออกไซด์ที่มีเสถียรภาพ