Wofly Technology — Jaminan Kualiti dan Keselamatan Saluran Gas Makmal

Gambaran Umum

Saluran gas makmal merupakan infrastruktur kritikal bagi penyelidikan saintifik, pengujian, dan pembuatan tepat. Gas seperti H₂, O₂, N₂, Ar, He, NH₃, dan SiH₄ mesti dihantar dengan tekanan stabil, ketulenan tinggi, dan aliran konsisten untuk memastikan keputusan eksperimen boleh diulang dan operasi peralatan selamat.

1. Risiko Keselamatan & Keperluan Kualiti

01 Pengelasan Gas

5 Risiko Utama

Kebocoran

● — Paling biasa berlaku di bahagian penutup injap, sambungan VCR, keliman, dan flens. Pengumpulan gas mudah terbakar boleh mencapai had letupan; gas toksik membahayakan keselamatan pekerja secara langsung.

Kontaminasi Ketulenan

● — Zarah, lembapan, dan ion logam daripada permukaan dalaman paip merosakkan ketulenan. Sistem ketulenan tinggi memerlukan kekasaran permukaan dalaman Ra ≤ 0.4 μm.

Anomali Tekanan

● — Kegagalan pengatur atau pertukaran sumber gas menyebabkan lonjakan atau ayunan tekanan, yang menjejaskan keselamatan peralatan dan kestabilan eksperimen.

Kakisan Bahan

● — Pemegang keluli tahan karat 316L menahan gas NH₃ dan gas beralkali; aloi Hastelloy atau Monel diperlukan untuk Cl₂ dan pengoksida kuat.

03 Piawaian Kualiti

Bahan

● Tiub elektropolis 316L (EP) untuk gas berketulenan tinggi; tiub tanpa sambungan 304 untuk kegunaan am.

Menyambung

● Pengimpalan GTAW orbit untuk sistem berketulenan tinggi; suku-suku penyambung VCR bersegel muka logam dengan kadar kebocoran ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s.

Ujian

● Ujian hidrostatik (1.5× tekanan rekabentuk) → ujian pneumatik (1.15×) → pengesanan kebocoran spektrometer jisim helium.

Piawaian

● SEMI F20, GB 50177, GB 50029.

2. Penyelesaian Teknologi Wofly

01 Perkhidmatan Kejuruteraan Penuh-Kitaran

Wofly Technology menyediakan perkhidmatan hujung-ke-hujung dari rekabentuk hingga penyerahan

Reka Bentuk

● Susun atur khas berdasarkan jenis gas, kadar aliran, tekanan, dan taburan hujung. Gas mudah terbakar, pengoksida, dan korosif dihantar melalui paip yang berasingan atau terpisah.

Perolehan Bahan

● Tiub 316L EP, injap diafragma (tanpa kebocoran), dan pengatur tekanan dipilih untuk sepadan dengan keperluan tekanan masukan dan kadar aliran keluaran.

Pemasangan

● Pemotongan orbital dan kimpalan orbital automatik dengan rekod prosedur kimpalan yang diluluskan (PQR). Pengisian argon di dalam paip semasa kimpalan mengelakkan pengoksidaan.

Perkhidmatan

● Ujian tekanan, pengesanan kebocoran, pengaliran bersih, pengesahan ketulenan, dan penyerahan dokumentasi lengkap.

02 Peralatan Utama

Kabinet Gas Khas (GC)

● Menyimpan silinder tekanan tinggi dengan pengudaraan automatik, amaran kebocoran, dan pintu tahan letupan.

Pengatur Tekanan (Siri WR1200)

● Mengurangkan tekanan silinder (15–20 MPa) kepada tekanan kerja (0.1–0.8 MPa); reka bentuk dua peringkat dengan ketepatan pengaturan ±2%; permukaan dalaman EP.

Injap Diafragma (Siri MV4 / MVH4)

● Segel diafragma logam dengan kebocoran sifar dan tiada gland packing. MV4 untuk gas ultra-tulin piawai; MVH4 untuk media berhaba tinggi atau korosif. Jangka hayat perkhidmatan ≥ 100,000 kitaran buka/tutup.

Panel Bekalan Gas (GSP)

● Menggabungkan regulator, tolok tekanan, injap diafragma, dan meter aliran dalam reka bentuk modular untuk pemantauan tekanan/aliran terpusat serta penyelenggaraan yang mudah.

03 Teknologi Utama

Tiub Elektropolish

● Permukaan dalaman 316L Ra ≤ 0,4 μm; lapisan pasif kaya kromium meminimumkan penyerapan zarah dan pelepasan ion.

Pengimpalan Automatik Orbit

● Arus, kelajuan putaran, dan suapan wayar boleh diprogram; keseluruhan parameter boleh dilacak bagi setiap sambungan pengimpalan.

Segel Muka-Logam VCR

● Kadar kebocoran ≤ 1×10⁻⁹ Pa·m³/s melalui deformasi plastik gasket logam; sesuai untuk sistem ultra-tulin tinggi dan vakum.

Pembersihan & Penyepasan

● Pembersihan aliran tinggi dengan N₂ atau Ar berketulenan tinggi mengeluarkan zarah dan lembapan; sistem yang sensitif terhadap oksigen menjalani penyepasan lanjut untuk membentuk lapisan oksida yang stabil.