แนะนำการเชื่อมต่อท่อส่งก๊าซโรงงานเซมิคอนดักเตอร์

การต่อเชื่อมทำให้เครื่องสามารถทำงานตามฟังก์ชันที่ต้องการโดยการเชื่อมต่อกับระบบสาธารณูปโภค การต่อเชื่อมคือการเชื่อมต่อระบบสาธารณูปโภค (เช่น น้ำ ไฟฟ้า ก๊าซ เคมีภัณฑ์ เป็นต้น) ที่โรงงานจัดเตรียมไว้ให้กับเครื่องและอุปกรณ์เสริมผ่านจุดเชื่อมต่อระบบสาธารณูปโภคที่สำรองไว้ (พอร์ตหรือแท่ง) ผ่านทางท่อและสายเคเบิล

ระบบสาธารณูปโภคเหล่านี้ถูกใช้งานโดยเครื่องเพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการที่ได้รับมอบหมาย เมื่อใช้งานเครื่องแล้ว น้ำที่สามารถนำกลับมาใช้ใหม่หรือของเสีย (เช่น น้ำเสีย ก๊าซเสีย เป็นต้น) ที่เกิดจากเครื่องจะถูกเชื่อมต่อกับจุดสัมผัสที่สำรองไว้ในระบบผ่านทางท่อ จากนั้นจะถูกส่งไปยังระบบการนำกลับมาใช้ใหม่ของโรงงานหรือระบบบำบัดก๊าซเสีย โครงการการต่อเชื่อมหลักๆ ประกอบด้วย: CAD, move in, core drill, seismic, vacuum, gas, chemical D.I, PCW, CW, express, electric, drain

GAS HOOK-UP การเข้าใจพื้นฐานของความรู้เฉพาะทาง

ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ การเชื่อมต่อท่อแก๊สซึ่งเรียกว่า "sp1hook up" ในแง่ของ buckgas (แก๊สทั่วไป เช่น CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2 ฯลฯ) จะหมายถึงจุดแยกจากจุดปล่อยของถังเก็บแก๊สแหล่งจ่ายแก๊สถึงท่อหลักและท่อรอง เรียกว่า "sp1hook up" ซึ่งเป็นการเชื่อมต่อจากจุดปล่อยถึงจุดเข้าของเครื่องจักร (เครื่องมือ) หรืออุปกรณ์ และเรียกการจัดวางลำดับรองว่า (sp2hook up)

สำหรับ specialtygas (แก๊สพิเศษ เช่น แก๊สกัดกร่อน แก๊สพิษ แก๊สไวไฟ แก๊สวอร์ม เป็นต้น) แหล่งจ่ายแก๊สจะเป็น gascabinet จากจุดปล่อยของ g/c ถึงจุดเข้าแรกของ VMB (กล่องวาล์วหลัก) หรือ VMP (แผงวาล์วหลัก) เรียกว่า sp1hook up และจากจุดปล่อยที่สองของ VMB หรือ VMP ถึงจุดเข้าของเครื่องจักร เรียกว่า sp2 hook