Innkobling av introduksjon av gassystemer i halvlederfabrikk.

Kobling gjør at maskinen kan oppnå den ønskede funksjonen ved å koble seg til for å overføre utilitter. Kobling er å koble utilittene (som vann, strøm, gass, kjemikalier osv.) som fabrikken tilbyr til maskinen og dets tilbehør gjennom den reserverte utilitetskoblingspunktet (port eller stikke) gjennom rørledninger og kabler.

Disse utilittene brukes av maskinen for å møte prosesskravene den er betalt for. Etter at maskinen er i bruk, kobles det gjenbrukbare vannet eller avfall (som avløp, avluft osv.) som maskinen produserer til systemets reserverte kontakter gjennom rørledninger, og deretter overføres til fabrikkens gjenbruksystem eller avluftbehandlingsystem. Koblingsprosjektet omfatter hovedsakelig: CAD, flytting inn, kjernedrilling, seismikk, vakuum, gass, kjemisk D.I, PCW, CW, ekspres, elektrisitet, avledning

GAS KOBLING - Grunnleggende forståelse av faglig kunnskap

I halvlederanlegg kalles tilkoblingen av gassrør "sp1hook up" i forhold til buckgas (generelle gasser som CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2 osv.), og utgangspunktet fra gassylindertanken i gassforsyningen til hovedrøret og deretter til sub-hovedrøret kalles "sp1hook up", som går fra utgangspunktet til innngangspunktet på maskinen (verktøy) eller utstyr. Dette kalles sekundær konfigurasjon (sp2hook up).

For spesialgass (spesiell gass som korrosive, giftige, frittendelige, oppvarmingsgasser osv.) er gassforsyningss supply-kilden gascabinet. Fra g/c-utgangspunktet til primært innngangspunktet på VMB (valve main box) eller VMP (valve main panel) kalles sp1hook up, og fra sekundært utgangspunktet på VMB eller VMP til maskinens innngangspunkt kalles sp2 hook.