Подключение ввода газопровода полупроводникового завода

Подключение позволяет машине выполнять необходимую функцию путем подключения для передачи ресурсов. Подключение означает соединение ресурсов (например, воды, электричества, газа, химикатов и т.д.), предоставляемых заводом, с машиной и ее компонентами через зарезервированные точки подключения (порт или разъем) с помощью трубопроводов и кабелей.

Эти ресурсы используются машиной для удовлетворения процессуальных требований. После использования машины перерабатываемая вода или отходы (например, сточные воды, отработанные газы и т.д.), образующиеся в результате работы машины, подключаются к зарезервированному контакту системы через трубопроводы и затем передаются в систему восстановления завода или систему очистки отработанных газов. Проект подключения в основном включает: CAD, перемещение, бурение ядра, сейсмические измерения, вакуум, газ, химические D.I, PCW, CW, экспресс-доставка, электричество, дренаж.

GAS HOOK-UP Основное понимание профессиональных знаний

В полупроводниковых заводах подключение газопровода называется "sp1hook up" в терминах технических газов (общие газы, такие как CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2 и т.д.). Точка отвода от точки выхода резервуара для хранения газа до магистрального трубопровода через главный трубопровод также называется "sp1hook up", что означает путь от точки отвода до точки входа в машину (инструмент) или оборудование. Это называется вторичной конфигурацией (sp2hook up).

Для специальных газов (специальные газы, такие как коррозионные, токсичные, горючие, нагревательные газы и т.д.) их источником газоснабжения является газовый шкаф. От точки выхода г/к до первичной точки входа VMB (главного клапанного блока) или VMP (главной клапанной панели) называется sp1hook up, а от вторичной точки выхода VMB или VMP до точки входа машины называется sp2 hook.