Dizajn ta' sistemi għall-ġasijiet użati fil-produzzjoni tal-semikondutturi

Skont li market tal-semikondukturi jinkrementa, standardi għall-purità u l-akkuratessa jagħmlu ix-xehar ikkunsenti. Wieħed mill-fatturi determinanti fil-kwalità ta' prodizzjoni tal-semikondukturi hija suġġettivijiet użati fl-proċess. Dawn is-suġġettivijiet jogħlu rol multipli fl-proċess ta' prodizzjoni, inklużive:

Kontroll ta' proċess b'prezzjoni

Prevenzjoni tal-kontaminazzjoni

Ispjanament tal-proprietajiet metallurgiċi

Għal biex jogħlu dawn ir-rol effiċjentement, is-sistema ta' fornitura u distribuzzjoni tal-gass issa għandha tkun effiċjenti. Id-disign tal-sistemi ta' trattaċċija tal-gass užati fil-prodizzjoni tal-semikondukturi għandhom jkunu supportati minn komponenti robus u assambleji maċħuk fuq misūr għall-assigura prodizzjoni effiċjenti u ta' kwalità tal-semikondukturi.

Suġġettivijiet użati fil-prodizzjoni tal-semikondukturi

Il-proċess ta' prodizzjoni tal-semikondukturi jrichiedu l-użu ta' suġġettivijiet differenti f’stadijiet differenti tal-proċess.

Mentre gassijiet komuni kif innitrogen, iddroġen, argon u helium jistgħux jkunu utizzati fis-sors puri tagħhom, dawn ir-proċessi jistgħu jgħiddu mixturijiet speċjali. Silani jew silokani, hexafluoridi, halidi u karbonuri huma ħsara minn il-gassijiet speċjali li jkunu utizzati fil-manufattura tal-semikondutturi. Għandekum xi diġi gassijiet jistgħu jkunu danneġġjanti jew reattivi ħafna, ikollok sfida f’l-iskelta u disinn tal-komponenti għall-sistemi tal-gassijiet.

Hawn tista’ tidħol esempi:

Iddroġen u helium jistgħu jinżlu b’sabīr minn is-sistemi ta’ pipi u fitting dinar l-atomiku żgħar u l-pesu Żgħar.

Isilani huma ħafna infjammabbli u jistgħu jinfjammu spontanement (autoignition) fil-ħawwie.

Innitrogen difluoride li jkun utizzat fl-istadiji ta’ deponazzjoni, etċħiema u tfaħħ tas-sala jibdew gas ġeneri tal-ħarsien potenti meta jinżlu fil-ambjent.

Iffluorid tal-iddroġen (gas ta’ etċħiema) hu ħafna korroziv għal pipi tal-metall.

Itrimetilgallju u l-ammonja jistgħu jkunu diffiċili li jkollha - variazjonijiet Żgħar fid-darba u fil-pressjoni li jrichumu jista’ jagħtu effett fuq il-proċess ta’ deponazzjoni.

L-istabbilta tal-kondizzjonijiet tal-proċess biex minimizizza l-effetti negattivi ta' dawn il-gaži għandhom jkunu priorità primarja skont id-disegn tal-sistema. Huwa importanti wkoll li jkunu mit-uża komponenti ta' qualità aħjar, kif ad-esempju il-valvoli diaphragm AFK, skont il-proċess ta' build.

Tħassar id-Disegn tal-Sistema

Il-gaži ta' semikondottur huma fil-kwalifikazzjoni tagħtu b'mostna ta' purtà u jagħmlu kondizzjonijiet inert jew jagħmlu reazzjonijiet aktar effiċjenti fi ż-żewġ stadijiet tal-proċess ta' manufattura, kif gaži ta' etċ u deposizzjoni. Il-lekkatament jew kontaminazzjoni ta' dawn il-gaži jistgħu jgħodu effetti negattivi. Perċi, hija kritika li tkun l-komponenti tal-sistema mit-uża ma jkunu mħassra hermetiċament u resistenti għall-korruzzjoni, ukoll li jkunu għalhom surfiss smooth (politur elettrolitika) biex jikkonferma li ma jkunux possibbli kontaminazzjoni u li tista' tkun maintenuta nivell ta' nuqqas estremament alt.

Għalikemm, xi minn dawn il-gaži jistgħu jkunu miemli jew imburrali biex jasċienx il-kondizzjonijiet proċess desiderati. Komponenti bnejn bejj bil-mod ċiekli jimgħammu l-iskontroll tal-temperatura, li hi kritika għall-perfurmanza effiċjenti tal-prodott finali.

Minn inħassar is-sors għall-punt ta' użu, AFK jagħmel użu ta' varjetà kbira ta' komponenti li jissostengu l-ultra-oqsigenazzjoni, temperaturi, preżjunijiet u skontroll tal-fluss żgħar meħtieġ fl-istrutture tal-semikondukturi u fil-kameri tal-vakuum.

Sistemi Diżignati bl-Komponenti ta' Qualità fl-Istrutture tal-Semikondukturi

Il-ruċ tal-komponenti ta' qualita' u l-otimizzazzjoni tal-diżajn hija kritika għall-skontroll preciż u għall-produzzjoni sigura tal-semikondukturi. Il-komponenti utizzati għandhom jkunu robus u mingħajr il-lekkat biex jagħmlu lill-kondizzjonijiet proċess differenti meħtieġa fl-istagji differenti tal-manifattura. Il-valvijiet, iffiċjarji, reġulatori, tubi u parantiżi ta' sigill ta' qualita' ta' AFK huma karatterizzati mill-karakteristiki li jappluq:

Super-Awgan Purità

Sigilli mingħajr lekkat

Isolazzjoni maħkusa tal-temperatura

Skontroll tal-preżjunijiet

Reżistenza għall-korrużjoni

Trattament poliment elettrolitiku