Desain sistem untuk gas yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor

Seiring pertumbuhan pasar semikonduktor, standar untuk kepurenan dan akurasi menjadi lebih ketat. Salah satu faktor penentu dalam kualitas manufaktur semikonduktor adalah gas yang digunakan dalam proses tersebut. Gas-gas ini memiliki banyak peran dalam proses manufaktur, termasuk:

Kontrol Proses Presisi

Pencegahan kontaminasi

Peningkatan sifat metalurgi

Untuk melaksanakan peran-peran ini secara efektif, sistem pasokan dan distribusi gas harus efisien. Desain sistem penanganan gas yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor harus didukung oleh komponen-komponen yang kuat dan perakitan yang disesuaikan untuk memastikan produksi semikonduktor yang andal dan berkualitas tinggi.

Gas yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor

Proses manufaktur semikonduktor memerlukan penggunaan berbagai jenis gas pada tahap-tahap yang berbeda dari proses tersebut.

Sementara gas umum seperti nitrogen, hidrogen, argon, dan helium dapat digunakan dalam bentuk murni mereka, beberapa proses mungkin memerlukan campuran khusus. Silan atau siloksan, heksafluorida, halida, dan hidrokarbon adalah beberapa dari gas khusus yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor. Banyak dari gas ini dapat berbahaya atau sangat reaktif, menciptakan tantangan dalam pemilihan dan desain komponen untuk sistem gas.

Berikut beberapa contohnya:

Hidrogen dan helium dapat dengan mudah bocor dari sistem pipa dan fitting karena ukuran atom dan bobotnya yang kecil.

Silan sangat mudah terbakar dan dapat menyala secara spontan (autoignition) di udara.

Nitrogen difluorida yang digunakan pada tahap deposisi, etching, dan pembersihan chamber menjadi gas rumah kaca yang kuat ketika bocor ke lingkungan.

Fluorida hidrogen (gas etching) sangat korosif terhadap pipa logam.

Trimetilgallium dan amonia bisa sulit ditangani - fluktuasi kecil dalam persyaratan suhu dan tekanan mereka dapat memengaruhi proses deposisi.

Pengendalian kondisi proses untuk meminimalkan efek negatif dari gas-gas ini harus menjadi prioritas utama selama desain sistem. Hal ini sama pentingnya dengan penggunaan komponen berkualitas tinggi seperti katup membran AFK selama proses pembuatan.

Menangani Tantangan Desain Sistem

Gas kelas semikonduktor dalam kebanyakan kasus memiliki kebersihan tinggi dan memberikan kondisi inert atau meningkatkan reaksi pada berbagai tahap proses manufaktur, seperti gas etching dan deposition. Kebocoran atau kontaminasi gas-gas tersebut dapat menimbulkan efek negatif. Oleh karena itu, sangat krusial bagi komponen sistem yang digunakan untuk memiliki penyegelan hermetis dan tahan korosi serta memiliki finising permukaan yang halus (pemolesan elektrolitik) untuk memastikan tidak ada kemungkinan kontaminasi dan tingkat kebersihan yang sangat tinggi dapat dipertahankan.

Selain itu, beberapa dari gas ini dapat dipanaskan atau didinginkan untuk mencapai kondisi proses yang diinginkan. Komponen yang terisolasi dengan baik memastikan pengendalian suhu, yang sangat penting untuk kinerja efisien produk akhir.

Dari inlet sumber hingga titik penggunaan, rentang luas komponen AFK mendukung ultra-kepurenan, suhu, tekanan, dan kontrol aliran yang diperlukan di ruang bersih semikonduktor dan kamar vakum.

Sistem yang Didisain dengan Komponen Berkualitas di Fabrikasi Semikonduktor

Peran komponen berkualitas dan optimasi desain sangat krusial untuk kontrol presisi dan produksi aman semikonduktor. Komponen yang digunakan perlu kuat dan bebas kebocoran untuk sesuai dengan kondisi proses yang berbeda pada setiap tahap manufaktur. Katup, fitting, regulator, pipa, dan bracket penyegelan berkualitas tinggi dari AFK memiliki karakteristik berikut:

Ultra-Kemurnian Tinggi

Segel bebas kebocoran

Isolasi pengontrol suhu

Kontrol Tekanan

Tahan korosi

Pengolahan poles elektrolitik