Dizajn sustava za plinove koji se koriste u proizvodnji poluprovodnika

Dok se tržište poluprovodnika širi, standardi za čistoću i točnost postaju strožiji. Jedan od odlučujućih faktora u kvalitetu proizvodnje poluprovodnika su plinovi koji se koriste u procesu. Ti plinovi imaju mnoge uloge u procesu proizvodnje, uključujući:

Precizna upravljanja procesom

Spriječavanje kontaminacije

Pojačanje metalurgijskih svojstava

Da bi se ove uloge učinkovito izvršile, sustav snabdjevanja i distribucije plinova mora biti učinkovit. Dizajn sustava obrade plinova koji se koriste u proizvodnji poluprovodnika mora biti podržan čvrstim komponentama i prilagođenim montažama kako bi se osigurala pouzdana i visokokvalitetna proizvodnja poluprovodnika.

Plinovi koji se koriste u proizvodnji poluprovodnika

Proces proizvodnje poluprovodnika zahtijeva upotrebu različitih plinova na različitim stadijama procesa.

Dok se zajednički plinovi kao što su nitrogen, vodik, argon i helijum mogu koristiti u svojoj čistoj formi, određeni procesi mogu zahtijevati posebne mješavine. Silani ili siloksani, heksafluoridi, halidi i ugljikovodici su neki od posebnih plinova koji se koriste u proizvodnji poluprovodnika. Mnogi od ovih plinova mogu biti opasni ili vrlo reaktivni, stvarajući izazove u izboru i dizajnu komponenti za plinske sustave.

Evo nekih primjera:

Vodik i helijum mogu lako izleći iz cijevnih i spojnica sustava zbog svoje male atomske veličine i težine.

Silani su vrlo vatrogoni i mogu se samopaloživo gorić u zraku.

Difluorid nitrogena koji se koristi u fázama odlaganja, ražanja i čišćenja sobe postaje moćan staklenički plin kada se izleće u okoliš.

Fluorid vodika (plin za ražanje) je vrlo korozivan za metale cijevi.

Trimetilgalijska i amonijak mogu biti teško upravljati - male fluktuacije u njihovim zahtjevima za temperaturu i tlakom mogu utjecati na proces odlaganja.

Kontrola procesnih uvjeta radi smanjenja negativnih učinaka tih plinova mora biti prioritet prilikom dizajniranja sustava. Isto je važno koristiti komponente najvišeg kvaliteta, poput membranih klupa AFK tijekom izgradnje.

Rješavanje izazova u dizajnu sustava

Plinovi za poluprovodnike su u većini slučajeva visoke čistoće i pružaju inertne uvjete ili poboljšavaju reakcije na različitim stadijama proizvodnje, kao što su plinovi za eroziju i odlaganje. Protjecanje ili zagađenje tih plinova može imati negativne učinke. Stoga je ključno da se koriste sustavne komponente koje su hermetički zaključane i otporne na koroziju te imaju glatku površinu (elektrolitsko lustriranje) kako bi se osiguralo da ne postoji mogućnost zagađivanja i da se može održati vrlo visoka razina čistoće.

Osim toga, neke od ovih plinova se mogu zagrijati ili hladiti kako bi se postigle željene uvjete procesa. Dobro izolirani komponenti osiguravaju kontrolu temperature, što je ključno za učinkovito funkcioniranje konačnog proizvoda.

Od ulaza izvora do mjesta uporabe, širok raspon komponenti AFK podržava ultra-visoku čistoću, temperaturu, tlak i kontrolu protoka koja su potrebni u čistim sobama poluprovodničkih zavoda i vakuumnim komoranama.

Dizajnirani sustavi s kvalitetnim komponentima u poluprovodničkim zavodima

Uloga kvalitetnih komponenti i optimizacije dizajna ključno je za preciznu kontrolu i sigurnu proizvodnju poluprovodnika. Komponente koje se koriste moraju biti otporne i bez progiba kako bi ispunjavale različite uvjete procesa koji su potrebni na različitim stupnjevima proizvodnje. Visoko-kvalitetne ventilove, spojeve, regulatore, cijevi i zaklopne zagrade AFK karakteriziraju sljedeće značajke:

Ultra-visoka čistoća

Zatvoreni zaklопovi

Temperatura kontrolirana izolacija

Kontrola tlaka

Otpornost na koroziju

Elektrolitsko poliranje