高純度ガス選定推奨ソリューション

構成：R1Dシリーズ圧力調整器＋ニードルバルブ＋ダイアフラムバルブ＋チェックバルブ。

特徴

この構成は最高レベルの安全性と最も正確な制御を提供し、ガス純度の保護を最大化します。その一方で、コストが高くなることや、流量抵抗が増加する可能性があります。

機能

1. 圧力調整器

シリンダーからの高圧（例：15 MPa）を一度に安定した中間圧範囲まで減圧し、下流側での精密な制御のための安定した圧力の起点を提供します。

2. ニードルバルブ

精密なねじ機構により針状のプランジャーを駆動し、ガス流量を連続的かつ直線的、微細に調整します。その主要機能は精密制御です。

3. ダイアフラムバルブ

柔軟性のあるダイアフラムを使用して、流路を完全に遮断または開放します。閉止時には、ダイアフラムが流路に対して完全に密封し、理論上ゼロリークを実現します。その主要機能は完全な気密性です。

4. チェックバルブ（逆止弁）

一方方向へのガスの流れを許可し、逆流を自動的に防止します。この高度な構成では、プロセス媒体が逆流してガス源が汚染されるのを防ぐことが主な役割です。

主要な使用上の注意点と選定に関する推奨事項

1. 材質の適合性が最も重要

腐食性ガス（例：HCl、Cl₂）の場合、バルブ本体、ダイヤフラム、シールなどすべての部品を特殊合金（ハステロイやモンエルなど）または高品位ステンレス鋼（例：316L）で作製し、厳格な表面パッシベーション処理を施す必要があります。

2. 接続方式の適合

このようなシステムでは、従来のねじ込み式シールではなく、VCRやダブルフェルール圧着継手などの金属面接触シール継手を使用して、超高純度および完全な気密性を確保します。

3. 正しい設置手順

シリンダーから使用ポイントへの標準的な順序は以下の通りです：シリンダー → シリンダーバルブ → 圧力調整器 → ニードルバルブ → ダイアフラムバルブ → 配管 → 反応装置。ダイアフラムバルブは、使用ポイントに最も近い遮断弁として機能します。