Kako integrirana toplinska dekompozicija i dvostepeno čišćenje vode pružaju superiornu smanjenje ispušnih plinova za proizvodnju poluprovodnika

Sažetak Proizvodnja poluprovodnika stvara izduvne plinove koji kombinuju toplinske, kemijske i čestice u jednom protoku silan koji se razgrađuje u ljepljivu prašinu silicijuma dioksida, NF3 i fluorirane spojeve koji zahtijevaju uništavanje na visokim temperaturama Ne postoji jedna tehnologija smanjenja suha adsorpcija, mokro perenje ili toplinska oksidacija koja bi se istodobno bavila svim tri izazova.

WOFLY GTHW 600 toplinsko-vlažna perilica integrira električnu toplinsku dekompoziciju s dvostopenim čistenjem vode u jednom sustavu od 600 LPM, posebno dizajniran za mješovite pline, mješovite opasnosti CVD, PECVD i suvih izduvnih plinova Ovaj članak ispituje proces obrade GTHW 600 u pet koraka, inženjersku logiku iza dizajna izolacije unutar/vanjske komore i kako njegova integrisana termo-mokra arhitektura nadmašuje samostalne tehnologije smanjenja u svim mjerama koje inženjeri poluprovodnika brinu: učinkovitost uništavanja

Dio 1: Zašto samostalne tehnologije smanjenja emisije ne uspijevaju s izazovom mješovitih plinova

Procesni izduvni plin poluprovodnika kemijski je raznolik na načine koji smanjuju stres u sustavima s jednim mehanizmom:

Proces CVD i PECVD koji koriste silan (SiH4) proizvodi silicijev dioksid (SiO2) kao nusproizvod sagorevanja fini, ljepljiv prah koji začepljuje suha adsorpcijska ležaja u roku od nekoliko tjedana i prekriva mlaznice gorkica u toplinskim Suhi perili moraju biti preveliki kako bi se prilagodili prijevremenoj zasićenosti medija zbog opterećenja česticama; toplinski oksidanti zahtijevaju čistač koje se često čisti, što povećava rad održavanja.

Proces izreziranja koji koristi NF3, CF4 i SF6 stvara kisele pline (HF, HCl) koje brzo koroziraju metalne komponente u sustavima toplinske redukcije i preplavljuju kapacitet neutralizacije kiseline jednopusnih mokrih perilica. Ti plinovi zahtijevaju uništavanje na visokom temperaturom kako bi se razbile jake vezi C-F i N-F te alkalno mokro perenje kako bi se neutralizirale kiselne pare.

U slučaju da se u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju izloženosti u slučaju U slučaju da se upotrebljava vodik, mora se upotrebljavati i drugi sustav koji se temelji na sagorevanju. Suha praonica, koja radi na sobnoj temperaturi, u potpunosti izbjegava taj rizik, ali ne može nositi prateće silane i kisele pline u razmjeru.

Integrisana arhitektura GTHW 600-a rješava ovu stvarnost mješovitih plinova sekvenciranim vlakom obrade: toplinska dekompozicija obrađuje plinove visoke energije vezivanja, pranje vodom neutralizira kiseline nusproizvode i hvata čestice, a inženjering materijala sustava

Dio 2: Proces obrade u pet koraka Kako GTHW 600 radi

Faza 1 Centralizirani ulaz s N2 čišćenje. U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) ovog pravilnika, "procesni plin" znači plin koji se upotrebljava za proizvodnju električne energije. Automatska funkcija čišćenja N2 sprečava nakupljanje prašine na ulaznom varijatoru rješavanje najčešćih problema održavanja koje su prijavili tehničari za proizvodnu opremu za sustave za pranje više vrata. U slučaju da se u skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) ovog članka, u slučaju da se u skladu s člankom 3. točkom (b) ovog članka, u skladu s člankom 3. točkom (c) ovog članka, primjenjuje na proizvod, proizvod ili proizvod, u skladu s člankom 3. točkom (b) ovog članka, proizvod

U trećoj fazi, u slučaju da se ne primijeni, se može koristiti i druga metoda. U reakcijskoj komori koriste se električne palice grijanja koje rade unutar izolacijske konstrukcije unutar/vanjske komore: grijači su postavljeni u vanjsku komoru i prenose toplinu kroz zid komore na procesne plinove koji teče kroz unutarnju komoru. Ovo je najvažniji dizajnerski potez u GTHW 600. U konstrukcijama grijača s izravnim kontaktom gdje je grijački element izložen toku procesa plina korozivni plinovi i naslaga čestica razgrađuju površinu grijača, stvarajući vruće točke, smanjujući toplinsku učinkovitost i na kraju uzrokujući prijevremeni kvar grijača. Izolovani dizajn GTHW 600 eliminiše ovaj mehanizam. Čelične palice nikada ne dolaze u kontakt s procesnim plinovima. U unutarnjoj površini komore je premazan Teflonom za otpornost na koroziju. U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i člankom 3. stavkom (b) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i člankom 4. stavkom (b) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i člankom 4. stavkom (c) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i

U slučaju da se ne primjenjuje, ispitna metoda može se upotrijebiti za ispitivanje. Kako toplinski raspadan gas izlazi iz reakcijske komore, prolazi kroz jednaku vodenu zavjesu koja služi dvostrukoj funkciji: hlađenje toka plina kako bi se zaštitile komponente nizvodno i kritično sprečavanje prilivanja silicijeve prašine proizvedene od razgradnje sil Bez ove vodene zavjese, nakupljanje praha SiO2 postupno bi suzio izduvni prolaz, povećavajući protutjecaj i na kraju zahtijevajući mehaničko čišćenje. Zatvaranje vodom prati zaslon dušikovog plina, stvarajući barijeru vlažnosti koja izoluje vodenu paru od komponenti gore uzvodno i usporava unutarnju koroziju u metalnim sekcijama.

U slučaju da se ne primjenjuje, ispitni sustav može se koristiti za ispitivanje. Hladni, prah-free plin ulazi u dvostruko mlaznicu punu toranj za pranje. Uređaj za pakiranje inertni strukturirani materijal s visokim omjerom površine prema zapremini maksimizira kontakt plin-tečnost, osiguravajući da kiselost nusproizvoda (HF od razgradnje NF3, HCl od razgradnje DCS) učinkovito apsorbira u cirkulirajuću U ovom slučaju, za potrebe za ispitivanje, potrebno je utvrditi razinu i razinu u kojoj se radi. Senzor temperature na izlazu kula neprekidno prati temperaturu ispušnih plinova, pružajući podatke o procesu u stvarnom vremenu za sigurnosne zaključavanja i analizu trendova.

U slučaju da se ne provodi kontrola, ispuštanje energije može se provesti u skladu s člankom 6. stavkom 2. U slučaju da je proizvodnja izlaznih plinova u skladu s ovom Uredbom u potpunosti ili djelomično ograničena, proizvođač može upotrijebiti sustav za izlaznih plinova koji je namijenjen za proizvodnju izlaznih plinova. U slučaju da je to potrebno, za svaki od tih vozila, mora se utvrditi da je u skladu s člankom 6. stavkom 2. U slučaju da se u skladu s člankom 6. stavkom 1. točkom (a) ovog članka primjenjuje na proizvod, proizvođač mora upotrijebiti odgovarajuće metode za utvrđivanje vrijednosti. Odvodnjavanje se aktivno upravlja pumpom za odvod energije ne gravitacijom sposobnom za 230 LPM na do 16 metara glave, s pneumatičkim ventilom kuglice i kombinacijom provjeravanja ventila koji sprečava povratni protok. Ovaj dizajn aktivne drenaže uklanja ograničenje instalacije koje zahtijeva vezu za odvod ispod razine, pojednostavljujući integraciju objekata u postojeće rasporede tvornica.

Članak 3: GTHW 600 nasuprot suvom adsorpcijom i sagorevanjem Kada integrirana toplinska vlažnost pobjeđuje

Izbor između suhe adsorpcije, sagorevanja i toplinsko-mokrog smanjenja nije o tome koja je tehnologija "bolja" već o tome koja tehnologija odgovara sastavu plinskog toka. U skladu s člankom 3. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, GTHW 600 može se upotrebljavati za proizvodnju električnih plinova koji se upotrebljavaju u proizvodnji električnih plinova.

U skladu s člankom 6. stavkom 1.

U skladu s člankom 3. stavkom 1. U slučaju da je proizvod izgrađen u skladu s člankom 6. stavkom 1. točkom (a) ovog članka, to se može smatrati proizvodom koji se upotrebljava za proizvodnju električne energije. Izolacija unutar/vanjske komore GTHW 600, u kombinaciji s teflonskim premazom na unutarnjoj površini komore, odvaja grijač od okruženja procesnih plinova. To nije povećanje trajnosti grijača, to je temeljna razlika u stanju kvara. U izoliranim komorama grijači propadaju zbog normalnog umorstva od toplinskog ciklusa; grijači u direktnim kontaktima propadaju zbog kemijskog napada. U slučaju da se ne primjenjuje presjek, to se može učiniti u skladu s člankom 6. stavkom 2.

U slučaju suhe adsorpcije, troškovi održavanja su dominantni. U slučaju da se u slučaju izduvnih plinova koji sadrže silan upotrijebe u suvom prerađivaču, u slučaju izduvnih plinova koji sadrže silan, u suvom prerađivaču se akumulira SiO2 prah koji ispunjava intersticijalne prostore između adsorbentnih čestica, povećava Mediji se moraju zamijeniti ne zato što je kemijski adsorpcijski kapacitet iscrpljen, već zato što je postelj fizički zamašen. Vodna zavjesa GTHW 600 hvata čestice u tekućoj fazi i ispušta ih kroz sustav za odvod energije nema čvrstog medija za zamašiti i nema neplanirane promjene uzrokovane opterećenjem česticama.

Potrošnja vode i tekući otpad glavni problem u pogledu troškova rada u mokrom pranju. GTHW 600 recirkuliše vodu za pranje kroz rezervoar za PP, s gradskom vodom koja se sastoji od samo 3-5 LPM. Sistem za otpuštanje energije ispušta otpadnu vodu u kontroliranim intervalima, a ne neprekidno, smanjujući ukupnu potrošnju vode u usporedbi s jednom-preko-močnim projektama. Za tvornice u područjima s ograničenim vodnim resursima, ova arhitektura recirkulacije značajna je operativna razlika.

Službeni sustav za upravljanje sustavima za upravljanje informacijama

GTHW 600 ima certifikat SEMI S2 međunarodni sigurnosni standard za opremu za proizvodnju poluvodiča. Za timove za nabavku proizvoda, ova sertifikacija uklanja potrebu za neovisnom procjenom sigurnosti, ubrzava proces kvalifikacije dobavljača i zadovoljava zahtjeve osiguranja i regulatorne dokumentacije. Certifikacija obuhvaća električnu sigurnost, zaštitu od požara, ergonomiju i označavanje upozorenja na opasnost cijeli opseg sigurnosnih parametara opreme koje inženjeri objekata moraju provjeriti prije odobrenja instalacije.

Standardna komunikacijska kutija i trobarno svjetlo kule (Run/Standby/Alarm) pružaju neposrednu vizualnu indikaciju stanja na proizvodnom podu i podržavaju integraciju FMCS-a putem Modbus RTU/TCP-a i drugih industrijskih protokola. U skladu s člankom 3. stavkom 2. točkom (a) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i člankom 3. stavkom (b) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i člankom 3. stavkom (b) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i člankom 3. stavkom (c) Uredbe (EZ) br. 765/2008 i

U skladu s člankom 3. stavkom 2. stavkom 2. točkom 2. ovog članka, u slučaju da se u slučaju gase koji se upotrebljava za proizvodnju gase u skladu s člankom 3. stavkom 3. točkom 2. ovog članka, upotrebljava u slučaju gase koja se upotrebljava za proizvodnju gase u skladu s člankom 3. to Za poluprovoditeljske tvornice koje obrađuju kemiju CVD silana, fluorinirane pline i izduvne plinove koji sadrže vodonik kroz jedan sustav smanjenja, pitanje nije odabir toplinske ili vlažne obrade. Pitanje je da li sustav integrira s inženjerstvom materijala kako bi preživio korozivne nusproizvode i dizajn izolacije kako bi održavali intervale održavanja usklađene s planiranim isključenjem tvornice, a ne neplaniranim stanjem alata.

Kontakt s medijima i profil tvrtke

Shenzhen Wofly Technology Co., Ltd. je 15-godišnji proizvođač s ISO-certifikatom specijaliziran za komponente industrijskih plinova i inženjerska rješenja za smanjenje emisija. WOFLY-ov proizvodni portfolio uključuje GTHW 600 toplinsko-vlažni perili, D-200S suhi perili, ormare za plinske cilindre, regulator pritiska, ventile i visokočiste kolektorske sustave, koji služe poluprovodnici, solarno-fotonaponske, laboratorijske i kemijske industrije u Za tehničko savjetovanje, procjenu specifične za plin ili prijedloge konfiguracije sustava, obratite se WOFLY-ovom inženjerskom timu na sljedeći članak .