ระบบจ่ายแก๊สปริมาณมาก

ระบบจัดส่งก๊าซจำนวนมากเป็นระบบที่เฉพาะเจาะจงซึ่งออกแบบมาสำหรับการเก็บรักษา การขนส่ง และการใช้งานก๊าซในปริมาณมาก ประกอบด้วยระบบจ่ายก๊าซและระบบท่อส่งเป็นหลัก ระบบจ่ายก๊าซมีองค์ประกอบ เช่น แหล่งกำเนิดก๊าซ ระบบฟอกอากาศ และกลไกตรวจสอบคุณภาพเพื่อให้มั่นใจถึงคุณภาพและความเสถียรกะของก๊าซ ในขณะเดียวกัน ท่อส่งก๊าซได้ออกแบบตามข้อกำหนดเฉพาะเพื่อควบคุมอัตราการไหลและการเปลี่ยนแปลงของแรงดันระหว่างการขนส่งก๊าซ ทำให้มั่นใจว่าการจัดส่งจะปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ

ระบบดังกล่าวถูกใช้อย่างแพร่หลายในหลากหลายสาขา โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุตสาหกรรมที่มีความต้องการก๊าซสูง ในโรงงานผลิตวงจรรวมขนาดยักษ์ ระบบจ่ายก๊าซจำนวนมากสามารถจ่ายก๊าซพิเศษต่าง ๆ เช่น SiH4, N2O และ C2F6 ได้อย่างเสถียร เพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการที่เข้มงวด นอกจากนี้ยังมีบทบาทสำคัญในสายการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ กระบวนการเติบโตของ LED epitaxial การผลิตจอแสดงผล LCD การผลิตเส้นใยออปติกและกระบวนการผลิตวัสดุซิลิคอนแบบ epitaxial

ในแอปพลิเคชันเหล่านี้ ระบบจ่ายก๊าซจำนวนมากไม่เพียงแต่เพิ่มประสิทธิภาพการผลิตและลดต้นทุน แต่ยังช่วยให้เกิดความเสถียรและความปลอดภัย อีกทั้งยังสามารถตอบสนองข้อกำหนดที่เข้มงวดเกี่ยวกับความบริสุทธิ์ของก๊าซ ซึ่งเป็นการรับประกันคุณภาพของผลิตภัณฑ์และความปลอดภัยในการผลิต

ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ความต้องการแก๊สที่สะอาดมากขึ้นก็เพิ่มขึ้นเช่นกัน ส่งผลให้มีข้อกำหนดที่เข้มงวดขึ้นสำหรับความสะอาดและความเสถียรของระบบจ่ายแก๊สมวล ดังนั้น การวิจัยและพัฒนาของระบบดังกล่าวจึงก้าวหน้าและปรับปรุงอยู่เสมอเพื่อตอบสนองต่อความต้องการของตลาดที่เปลี่ยนแปลงไป

โดยรวมแล้ว ด้วยลักษณะที่มีประสิทธิภาพ เสถียร และปลอดภัย ระบบจ่ายแก๊สมวลกำลังมีบทบาทสำคัญมากขึ้นในด้านการผลิตอุตสาหกรรม การพัฒนาพลังงาน การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และสาขาอื่น ๆ

ตัวอย่างบางส่วนของการใช้งานจริงของระบบจ่ายแก๊สมวล:

1. การขนส่งลมของเถ้าที่คืนจากโรงงานซีเมนต์: โรงงานซีเมนต์ได้ใช้ระบบขนส่งแบบฟิวม์หนาซึ่งใช้ก๊าซที่ถูกอัดเป็นแหล่งพลังงานในการขนส่งเถ้ากลับผ่านปั๊มลมและท่อขนส่งไปยังถังเก็บเถ้าซีเมนต์ที่กำหนด ระบบดังกล่าวขนส่งเถ้าทั้งหมดภายในท่อที่ปิดสนิท โดยไม่มีการปล่อยฝุ่นหรือจุดรั่วไหล ทำให้มั่นใจได้ว่ามีสภาพแวดล้อมการผลิตที่ปลอดภัยและสะอาด นอกจากนี้ ระบบยังสามารถดำเนินการและควบคุมได้อย่างเต็มรูปแบบผ่านระบบโปรแกรมอัตโนมัติ PLC และระบบควบคุมด้วยคอมพิวเตอร์ขนาดเล็ก ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและความปลอดภัยของการผลิตอย่างมาก

2. การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มีข้อกำหนดที่สูงมากสำหรับความบริสุทธิ์ของก๊าซและความเสถียรของการจ่ายก๊าซ ดังนั้นผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์หลายรายจึงใช้ระบบจัดส่งก๊าซจำนวนมากเพื่อจ่ายก๊าซจำนวนมาก เช่น ไนโตรเจน ออกซิเจน และไฮโดรเจน ระบบเหล่านี้ใช้เทคโนโลยีการขนส่งก๊าซด้วยแรงดันสูงมากเพื่อให้มั่นใจในความบริสุทธิ์และความเสถียรของก๊าซ ซึ่งจะช่วยรับประกันคุณภาพและความสมบูรณ์ของการผลิตชิป

3. การผลิตเครื่องมือแพทย์แบบเพิ่มวัสดุ: การผลิตแบบเพิ่มวัสดุ (AM) ได้รับการใช้งานมากขึ้นในการผลิตเครื่องมือแพทย์ ในกระบวนการ PBF การใช้ปริมาณที่เหมาะสมของไนโตรเจนหรืออาร์กอนด้วยแรงดันสูงมากสามารถปรับปรุงโครงสร้างให้มีความแข็งแรงมากขึ้น ดังนั้นระบบจัดส่งก๊าซจำนวนมากจึงถูกนำมาใช้เพื่อจัดหาแหล่งก๊าซคุณภาพสูงสำหรับการผลิตแบบเพิ่มวัสดุของเครื่องมือแพทย์ เพื่อรับรองคุณภาพและประสิทธิภาพของเครื่องมือแพทย์ที่ผลิต

กรณีการใช้งานเหล่านี้เป็นเพียงส่วนเล็กๆ ของระบบจ่ายก๊าซปริมาณมากที่มีการใช้งานในหลากหลายสาขา นอกจากนี้ขอบเขตของการใช้งานยังกว้างขวางมากขึ้น ด้วยความก้าวหน้าของเทคโนโลยีและการพัฒนาของอุตสาหกรรม ระบบจ่ายก๊าซปริมาณมากจะยังคงให้โซลูชันการจ่ายก๊าซที่มีประสิทธิภาพและเสถียรสำหรับอุตสาหกรรมต่างๆ อีกมากมาย