Systém dodávky velkoplošťových plynů

Systém dávkového dodávání plynů je specializovaný systém navržený pro ukládání, přepravu a využívání velkých množství plynů. Sestává hlavně ze systému dodávky plynu a z potrubní sítě. Systém dodávky plynu zahrnuje komponenty jako zdroje plynu, čištící systémy a mechanismy sledování kvality, které zajistí kvalitu a stabilitu plynů. Zatímco dopravní potrubí jsou navržena podle konkrétních požadavků tak, aby řídily proudovou rychlost a změny tlaku během přepravy plynu, což zajišťuje bezpečnou a efektivní dodávku.

Tento systém je široce používán v různých oborech, zejména v těch průmyslových odvětvích, které mají vysokou náročnost na plyny. V velkých výrobních zařízeních pro ultra-mega integrované obvody stabilně dodává systém hromadného distribuce plynů různé speciality plyny jako SiH4, N2O a C2F6, splňuje přísné požadavky procesu. Hraje také klíčovou roli v produkčních liniích slunečních buněk, v procesech epitaxie LED, výrobě displejů LCD a v produkčních liniích optických vláken a křemíkových materiálů epitaxie.

V těchto aplikacích systém hromadné distribuce plynů nejen zvyšuje výrobní účinnost a snižuje náklady, ale také zajistí stabilitu a bezpečnost. Navíc splňuje přísné požadavky na čistotu plynu, čímž zaručuje kvalitu produktu a bezpečnost výroby.

S postupným rozvojem mikroelektronického průmyslu roste poptávka po ultračistých plynech, což klade vyšší požadavky na čistotu a stabilitu systému dodávky hmotných plných. Proto se výzkum a vývoj tohoto systému neustále rozvíjí a zdokonaluje, aby vyhověl měnícím se tržním požadavkům.

Celkově vzato, díky svým efektivním, stabilním a bezpečným vlastnostem hraje systém dodávky hmotných plných stále důležitější roli v průmyslovém výrobním procesu, vývoji energie, vědeckém výzkumu a dalších oblastech.

Následují některé konkrétní příklady použití systémů dodávky hmotných plných:

1. Pneumatická doprava popela z cementárny: Cementárna přijala systém hustofázové pneumatické dopravy, který používá komprimovaný plyn jako pohon pro dopravu návratového popela prostřednictvím pneumatického čerpadla a dopravních potrubí do určeného kontejneru na přijímání návratového popela pro cement. Tento systém dopravuje popel úplně v uzavřených potrubích, bez jakéhokoli vyluňování prachu nebo únikových míst, což zajišťuje bezpečné a čisté produkční prostředí. Zároveň systém dosahuje plně automatizované operace a řízení prostřednictvím PLC automatického programování a řídícího systému s počítačem, což významně zvyšuje produkční efektivitu a bezpečnost.

2. Výroba polovodičů: V procesu výroby polovodičů jsou krajně vysoce náročné požadavky na čistotu plynu a stabilitu dodávek. Proto mnoho výrobců polovodičů používá systémy dodávky hromadných plynů pro dodávku jemných hromadných plynů, jako jsou dusík, kyslík a vodík. Tyto systémy používají technologii přepravy plynu s ultra-vysokým tlakem, aby zajistily čistotu a stabilitu plynu, čímž zaručují kvalitu a integrity výroby čipů.

3. Additivní výroba lékařských zařízení: Additivní výroba (AM) se stále více používá ve výrobě lékařských zařízení. V procesu PBF použití správného množství ultra-vysokotlakého dusíku nebo argonu může zlepšit strukturní integrity. Proto se také používají systémy dodávky hromadných plynů pro poskytování kvalitních zdrojů plynu pro additivní výrobu lékařských zařízení, což zajišťuje kvalitu a výkon vyráběných lékařských zařízení.

Tyto příklady použití jsou pouze malou částí aplikací systému dodávky hmotného plynu v různých oborech. Ve skutečnosti je jeho obor uplatnění mnohem širší. S postupem technologie a rozvojem průmyslu bude systém dodávky hmotného plynu nadále poskytovat efektivní a spolehlivé řešení dodávky plynu pro více průmyslových odvětví.