用途はガス配管の末端にあり、使用が簡単でガス流量を制御できます。最大入力圧力は20.7MPa（3000psi）まで対応し、耐食性があり、クリーンルームでの組立試験が行われており、実験室やガス分析など高純度ガスを使用する場面に適しています。
システム部品の一覧
| いいえ。 | 部品名 | 仕様 | 数量。 |
| 1 | ダイヤフラム式減圧装置 |
R11シリーズ 入口圧力600psi 出口圧力150psi |
1 |
| 2 | 軸方向圧力計 |
1.6級精度 0-300psi範囲 1/4’ NPT 下部接続 |
1 |
| 3 | フェリュール式計装ボールバルブ | 316L ステンレス鋼 1/4"OD | 1 |
| 4 | 二次制御モジュール | 1 | |
| 5 | フェリュールからオスフィッティング |
1/4’ NPT 男性スレッドへ 1/4’ フェリュール |
1 |
| 6 | 装着用品 |
ステンレス鋼製ネジ, 固定ブラケット |
1 |
技術仕様
| 最大吸入圧力 | 3000,2200psi |
| 最大吐出圧力 | 25,50,100,150,250psi |
| 動作温度 | -40℃~230℃ |
| 流量 | 流量グラフを参照 |
| 減圧弁の漏れ率: | 2 x 10-8 atm.cc/sec He |
| cv | 0.14 |
プロジェクトケース
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