シングルステージレギュレーター

AFKLOK製316ステンレス鋼製シングルステージ高純度減圧弁は、デュアル圧力計、シリンダー入力接続、フェルール式出力接続、および安全弁を備えており、半導体や研究室向け特殊ガスシリンダーからの圧力制御および安全なガス供給に適しています。

AFKLOK製シングルステージ316ステンレス鋼ガス圧力調整器（デュアルゲージ付）

デュアルゲージ、シリンダー入力、コンプレッション式出力、および安全弁を搭載した半導体・研究室用ガスシリンダーシステム向け調整器

シリンダー入力と機器出力の両方の圧力を監視できるデュアルゲージを採用。コンプレッション式出力、シリンダー入力、および内蔵安全弁を備えています。

ごあいさつ

AFKLOK単段式超高純度圧力調整器は、産業用特殊ガスシリンダー向けに設計されています。2つの圧力計、専用シリンダーネジ口、圧縮チューブ用出口、および内蔵型安全圧力制限弁を備えています。本体はすべてSUS316ステンレス鋼製、ダイアフラムも全金属構造のため、ゴムによる汚染がなく、半導体製造、研究開発実験室、水素エネルギー向けガス供給システムに最適です。

調整ノブ： 出口ガス圧力を精密に微調整可能

入口圧力計： ガスシリンダー内の残圧を確認

出口圧力計： 機器へ安定した供給圧力を表示

セーフティバルブ: 過圧時自動開放保護機能

シリンダーネジ口： 産業用ガス鋼製シリンダーと接続

圧縮出口ポート： ガス配管マニホールド接続用

アイテム	仕様
商品名	単段式ガス減圧弁
本体材質	316 不鋼
内側面	BA（明るいアニール処理）／EP（電解研磨）仕上げ
最大吸入圧力	3000 PSIシリンダー用ガス入力
出力圧力調整可能	0～100 PSI（カスタマイズ可能）
圧力表示	二重ステンレス鋼製圧力計
入り口接続	シリンダー入力コネクタ
吐出口接続	コンプレッションフィッティング出口
安全装置	安全弁
シーリング構造	全金属ダイアフラム
ヘリウム漏れ率	≤1×10⁻⁹ atm・cc／s
使用可能なガス	N₂、Ar、He、H₂、NF₃、WF₆、不活性ガス、可燃性ガス、腐食性特殊ガス
動作温度	－20℃～85℃
保証期間	2年

1．二重圧力計
入口側と出口側にそれぞれ独立した圧力計を備えており、シリンダー内圧および調整後の出口圧をリアルタイムで監視できます。
2．シリンダー入口接続部
特殊ガス用シリンダーへの直接接続を想定して設計されており、実験室および半導体製造向けガス供給システムに適しています。
3．コンプレッション式出口接続部
コンプレッションフィッティングによる出口接続により、漏れのリスクを最小限に抑えながら、迅速かつ確実なチューブ接続が可能です。
4. 安全弁
統合型安全弁により、下流の配管および機器を過圧から保護します。
5. 全金属ダイアフラム構造
ゴム製シール部品を採用しないため、粒子汚染が少なく、清浄なガス供給を実現します。
6. ヘリウム漏れ試験（100％実施）
出荷前に各レギュレーターでヘリウム漏れ試験を実施。有毒・可燃・腐食性ガスにも対応します。