متطلبات النظام لعمليات إعداد الغاز الخاص الإلكتروني!

تتضمن عملية إنتاج الغازات الإلكترونية المتخصصة عدة عمليات مثل التركيب، التنقية، التعبئة، التحليل والاختبار، الخلط والتوزيع. من أجل تلبية متطلبات تصنيع شرائح السيليكون فيما يتعلق بنقاء الغاز ومحتوى الشوائب، تعتبر عملية التنقية مهمة للغاية. تعتمد على تركيبة غاز التفاعل أو غاز الخام الناتج عن العمليات السابقة، حيث يتم تنفيذ التقطير عند درجات حرارة منخفضة أو التنقية متعددة المراحل.

متطلبات نظافة عالية

يمكن تقسيم عملية الإعداد الخاصة بالغازات الإلكترونية الخاصة إلى قسمين رئيسيين: التحضير الكيميائي الصناعي في المقدمة (التي تنتمي إلى عملية الإنتاج الكيميائي) والتنقية. حجم خط الإنتاج كبير ولا يوجد متطلب خاص بمستوى النقاء. وبعد التنقية في المرحلة اللاحقة، يتم ملء المنتج بالغاز أو خلطه للتحضير. يكون حجم خط الإنتاج صغيرًا ويحتاج إلى تلبية متطلبات مستوى النقاء، كما يجب أن يتوافق مع المواصفات القياسية لعملية تصنيع شبه الموصلات.

متطلبات إغلاق عالية

بسبب نشاطها الكيميائي، فإن الغازات الإلكترونية الخاصة تضع متطلبات عالية على المواد والختم في نظام عملية الإنتاج. تمامًا كما هي متطلبات تصنيع شرائح الدارات المتكاملة (السيمiconductor)، حيث تمنع تسرب واجهات الأنظمة الناتجة عن إدخال الشوائب أو تآكل الغازات الخاصة. يمكن أيضًا استخدام النظام لمنع دخول الشوائب أو التسرب الناتج عن تآكل الغازات الخاصة.

متطلبات استقرار الجودة العالية

تشمل جودة الغازات الإلكترونية الخاصة عددًا من المؤشرات مثل النقاء ومحتوى جزيئات الشوائب. أي تغيير في هذه المؤشرات سيؤثر على نتائج عملية تصنيع شرائح السيمiconductor في المراحل اللاحقة. لذلك، من أجل ضمان اتساق مؤشرات منتج الغاز الخاص الإلكتروني، فإن نظام العملية لتحضير الغاز يلعب دورًا مهمًا في السيطرة على استقرار المؤشرات.

تطبيق أنظمة عملية تحضير الغازات الخاصة

بسبب النشاط الكيميائي والمتطلبات الجودة لـ EGP، يجب أن تلبي نظام الإنتاج الخاص بتحضير EGP، وخاصة نظام التنقية في المرحلة اللاحقة، متطلبات المواد ذات النقاء العالي، والإغلاق العالي، والنظافة العالية واتساق الجودة العالي، ويجب أن تتوافق مكونات الهندسة في البناء مع معايير صناعة تصنيع شبه الموصلات.

ما نشير إليه عادة بـ"النقاء العالي" هو تعريف نظري لنقاء مادة معينة، مثل الغازات عالية النقاء أو المواد الكيميائية عالية النقاء وما إلى ذلك. تُسمى أنظمة العمليات أو مكونات أنظمة العمليات المستخدمة في المواد عالية النقاء أيضًا بأنها عالية النقاء، مثل الأنظمة عالية النقاء والصمامات عالية النقاء. تتطلب أنظمة إعداد الغازات المتخصصة إلكترونيًا ملحقات وصمامات ومكونات سائلة ذات تطبيقات عالية النقاء، أي الملحقات والصمامات التي يتم تصنيعها من مواد عالية النقاء باستخدام عمليات تصنيع نظيفة، وهي مصممة لتكون سهلة التنظيف والتخلص. مع أداء ختم عالي. هذه المكونات السائلة مصممة لتناسب مسار التدفق الخاص بالتطبيق، باستخدام متطلبات الهندسة والإنشاء الخاصة بصناعة شبه الموصلات.

وصلات الأنابيب عالية النقاء

تُستخدم اتصالات الختم الوجهي للفلين المعدني VCR واتصالات اللحام باللمس التلقائي على نطاق واسع في متطلبات العمليات التي تحتاج إلى نقاء عالي لنظام السوائل بسبب قدرتها على تحقيق انتقال سلس لمسار التدفق عند الاتصال، وعدم وجود منطقة تراكم، وأداء ختم عالي. تشكل اتصالات VCR ختمًا سطحيًا ضيقًا عن طريق تدوير غasket معدني نسبيًا ناعم. يتم ضمان أداء الاتصال والختم المتكرر والمتسق كل مرة يتم فيها إزالة الغasket المتشوه واستبداله.

يتم لحام الأنابيب باستخدام نظام لحام فلكوري تلقائي. يتم حماية الأنبوب بغاز عالي النقاء من الداخل والخارج. يدور الكاثود المصنوع من الولفرام على طول المدار لتحقيق لحام عالي الجودة. يذيب اللحام الفلكوري التلقائي تمامًا أنبوب دون إدخال مواد أخرى، مما يحقق لحام عالي الجودة حيث من الصعب تحقيق السيطرة المتكررة على الأنابيب الرقيقة باستخدام اللحام اليدوي.

اتصال ختم الوجه للفلين المعدني VCR

اللحام الفلكوري التلقائي للأنابيب

صمامات عالية النقاء

النشاط الكيميائي للغازات الخاصة الإلكترونية القابلة للاشتعال، والانفجار، والتآكل، والسامة يضع متطلبات عالية على إغلاق الصمام. من أجل تحسين موثوقية الإغلاق، يتم استخدام صمامات بلا حشو لمنع التسرب الخارجي، أي باستخدام ختم بين جسم الصمام وعمود القيادة باستخدام موجات معدنية أو غشاء معدني لتجنب التسرب الناتج عن الاحتكاك والتشوه في الختم الحشوي. يتم استخدام الصمامات ذات الإغلاق بالموجات المعدنية وإغلاق الغشاء المعدني بشكل شائع في أنظمة العمليات لتطبيقات عالي النقاء بسبب زيادة موثوقية الأختام وسهولة تنظيف واستبدال أجزاء الصمام الداخلية.

صمامات البيلوز هي بناء صمام إبرة بدون حشو يسمح بالفتح البطيء وتنظيم التدفق. تُستخدم لتعبئة الغازات الخاصة الإلكترونية مع متطلبات تدفق آمن أو على زجاجات مصدر السلفات ذات المتطلبات الأمنية العالية. تتيح أختام طرف المقبض المعدنية الكاملة العمل عند درجات حرارة تشغيل منخفضة للغاية وتُستخدم لتسييل الغازات الخاصة الإلكترونية في خزانات المنتج النهائي بعد التقطير البارد للأنابيب.

صمام الإغلاق الديافراغمي الخالي من الربيع هو صمام فتح سريع بحجم 1/4" يستخدم كصمام تحويل يتم التحكم فيه تلقائيًا في الأنابيب الناقلة. يتم استخدامها بشكل شائع في التطبيقات ذات الضغط الفائق والنقاء العالي بسبب مسار التدفق الداخلي البسيط، والحجم الداخلي الصغير، وسهولة التنظيف والاستبدال.

تُستخدم الصمامات المغلقة بوساطة غشاء تُغلق عبر رأس السهم بوتيرة أبطأ ويمكن استخدامها تحت ضغوط تشغيل أعلى مقارنة بالصمامات المغلقة بغشاء غير مرتجعة. وهي تُستخدم على نطاق واسع في عمليات مل الغازات الخاصة الإلكترونية أو زجاجات مصدر السلفات تحت الضغط العالي.

يمكن استخدام صمام الجرس المختوم الثانوي ليس فقط في أنظمة العمليات ذات درجات الحرارة الفائقة المنخفضة عند -200 درجة، ولكنه يمنع أيضًا تسرب الوسائط الخطرة إلى الغلاف الجوي. عادةً ما يستخدم لغازات إلكترونية خاصة خطيرة جدًا مثل نظام مل السيلان.

شنتشن ووفاي تكنولوجي كو., لت، مع أكثر من 10 سنوات من الخبرة في توريد الغازات الصناعية والخاصة، المواد، أنظمة إمداد الغاز والهندسة الغازية لأسواق شبه الموصلات، LED، DRAM، TFT-LCD، يمكننا تقديم المواد اللازمة لدفع منتجاتك إلى طليعة الصناعة. يمكننا ليس فقط توريد مجموعة واسعة من الصمامات والمفاصل للغازات الخاصة الإلكترونية شبه الموصلة، ولكن يمكننا أيضًا تصميم أنابيب الغاز وتثبيت المعدات لعملائنا. إذا كان لديك أي احتياجات في هذا المجال، يرجى الاتصال بنا على الرقم 27919860.