Den avgjørende rollen av gassfordelingsystemer i produksjonen i semiførerkraften!

I halvlederprodusjon gjør gassene alt arbeidet, mens laserne får all oppmerksomheten. Selv om laserne graverer transistor-mønstre i silisien, er det en serie med gasser som først avlager silisien og bryter ned laseren for å lage fullstendige kretser. Det er ikke overraskende at disse gasse, som brukes til å utvikle mikroprosessorer gjennom en flerfases prosess, er av høy rensning. I tillegg til denne begrensningen, har mange av dem andre bekymringer og begrensninger. Noen av gasse er kryogeniske, andre er korrosive, og ennå andre er høygradig giftige.

I alt tar disse begrensningene med seg at å lage gassdistribusjonssystemer for semiforektronsikkbransjen er en betydelig utfordring. Materialespesifikasjoner er kravstilte. I tillegg til materialspesifikasjoner er et gassdistribusjonsnettverk et komplekst elektromekanisk nettverk av interkonnecterte systemer. Miljøene de monteres i er komplekse og overlappende. Den endelige fabrikasjonen skjer på stedet som en del av installasjonsprosessen. Orbitaleldesveising bidrar til å oppfylle høy spesifikasjon på gassdistribusjonskrav samtidig som det gjør fabrikasjon i tette og utfordrende miljøer mer håndterlige.

Hvordan gasser brukes i semiforektronsikken

Før man prøver å planlegge produksjonen av et gassdistribusjonsystem, er det nødvendig å forstå minst grunnleggende aspekter av halvlederproduksjon. I kjernen bruker halvledere gasser til å avlede nær elementære faste stoffer på en overflate på et høygrads kontrollert måte. Disse avlede faste stoffene blir deretter modifisert ved å innføre ytterligere gasser, lasere, kjemiske etchere og varme. Trinnene i den bredere prosessen er:

Avlægging: Dette er prosessen for å lage den initielle silisiumplaten. Silisiumforløpere som er i gassform pumperes inn i en vakuumavlæggingskammer og former tyne silisiumplater gjennom kjemiske eller fysiske interaksjoner.

Fotolitografi: Foto-seksjonen refererer til lasere. I den høyere ekstreme ultraviolette litografi (EUV) spekteret som brukes til å lage de mest spesifikke krystallene, brukes en karbon-dioxid-laser for å gravere mikroprosessor-sirkrikkene i platen.

Ettering: Under etteringsprosessen pumperes halogen-karbon-gass inn i kameraet for å aktiveres og opprette valgte materialer i silisiumsubstratet. Denne prosessen gravirer effektivt lasertrykte kretser på substratet.

Doping: Dette er en tilleggssteg som endrer ledighetsevnen til det etterte substratet for å bestemme de nøyaktige betingelsene under hvilke semiforelederen leder.

Annering: I denne prosessen utløses reaksjoner mellom vafel-lag ved økt trykk og temperatur. Essensielt sett, avslutter den resultatene fra den foregående prosessen og oppretter den ferdige prosessoren i vafelen.

Renasjon av kamer og linjer: Gassene som brukes i de foregående trinnene, spesielt under ettering og doping, er ofte sterkt giftige og reaktive. Derfor må prosesskammeret og gasslinjene som tilfører det fylles med neutraliserende gasser for å redusere eller eliminere skadelige reaksjoner, og deretter fylles med inerte gasser for å forhindre at kontaminerende gasser fra omgivelsene kommer inn.

Gassfordelingsystemer i semiforektronsikkbransjen er ofte komplekse på grunn av de mange forskjellige gassene som er involvert og den stramme kontrollen av gassstrøm, temperatur og trykk som må vedlikeholdes over tid. Dette kompliseres ytterligere av den ultra-høy renskapen som kreves for hver enkelt gass i prosessen. Gassene som brukes i den foregående steget må fjernes fra lederne og kamrene eller ellers neutraliseres før neste steg i prosessen kan begynne. Dette betyr at det finnes et stort antall spesialiserte leder, grensesnitt mellom sveiste tuber og slanger, grensesnitt mellom slanger og tuber og gassregulatører og sensorer, samt grensesnitt mellom alle de nevnte komponentene og knepper og segl-systemer designet for å forhindre rørledningsforurensning av naturgassforsyningen fra å byttes ut.

I tillegg vil renromsytter og spesialgasser være utstyrt med bulk-gassystemer i renromsmiljøer og spesialiserte begrensete områder for å redusere eventuelle fare i tilfelle av ulykkelig utslipp. Å sveise disse gassystemene i et så komplekst miljø er ikke en enkel oppgave. Likevel, med omsorg, oppmerksomhet på detaljer og riktig utstyr, kan denne oppgaven bli utført vellykket.

Produksjon av gassdistribusjonssystemer i semiførerkraften

Materialer brukt i halvledergassdistribusjonssystemer er høygradig variabel. De kan inkludere ting som PTFE-linerte metallrør og slanger for å motstå høygradig korrosive gasser. Den mest vanlige materialen brukt for generell rørlegging i halvlederindustrien er 316L rustfritt stål - en lavkarbonvariant av rustfritt stål. Når det gjelder 316L mot 316, er 316L mer motstandsdyktig mot intergranulær korrosjon. Dette er en viktig overveielse når man håndterer en rekke høygradig reaktive og potensielt volatile gasser som kan korrodere karbon. Ved sveising av 316L rustfritt stål frigjøres mindre karbonprecipitteringer. Det reduserer også risikoen for korngrenseforringelse, som kan føre til pikkorrosjon i sveisninger og varmeberørte soner.

For å redusere muligheten for rørledningskorrosjon som kan føre til korrosjon og forurening i produktlinjen, er 316L edelstål svart med ren argon skjermingsgass og tungstengass-skyttet sveisebane standard i semiforelerindustrien. Den eneste sveiseprosessen som gir kontrollen som trengs for å opprettholde en høy renskapsmiljø i prosessrørledninger. Automatisert orbitalsvæsing gir kun den gjentakelige prosesskontrollen som trengs for å fullføre sveset under produksjon av gassdistribusjonsystemer for semiforeler. Faktum at lukkede orbitale sveisehoder kan tilpasse seg de tette og vanskelige rommene ved komplekse kryss mellom prosessområder er et betydelig fordelspunkt for prosessen.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, med over 10 års erfaring i levering av industrielle og spesialgasser, materialer, gassystemer og gassanering for semiforelement-, LED-, DRAM- og TFT-LCD-markedene, kan vi tilby deg de materialene som er nødvendige for å få produktene dine frem til fronten av bransjen. Vi kan ikke bare tilby en bred vifte av knekkere og tilbehør for elektroniske spesialgasser innen semiforelementer, men også designe gassledninger og installere utstyr for våre kunder.