Popolarizzazzjoni tal-gass tat-taf fuq tal-purità fit-twelġEMENT!

Ġasijiet ta' purtà ultra-ewwelt huwa ġewwieġa fl-imtiehen kollha tal-ġografija tal-semikondutturi. Fatti, għal fab tipika, iċ-ċagħat ta' purtà ewwelt jagħmlu l-ispesa kbira ta' materjali wara s-Silikon nies. F’segwel tal-żgħar globali ta' chips, l-industrija qed tibda aktar biss mingħajr ma jkun qabel - u d-demanju għall-ġasijiet ta' purtà ewwelt qed jinkrementa.

Il-ġasijiet bulk li jkunu msajjinajt f’produzzjoni tal-semikondutturi huma inossigen, helium, idrogen u argon.

Inossigen

L-inossigen ikunu 78% tal-atmosfera tagħna u hi morra abbonanti. Jekk jogħġbok, hija kemikament inkattiva u mhux konduktiva. Ir-rezultat, l-inossigen qed tintroduċi f’numru ta' industrijiet kosta effettiva gas inkattiv.

Industrijiet tal-semikonduktorijiet hija konsument magħruf ta' nittrogen. Impjant ta' produzzjoni ta' semikonduktorijiet moħħerin jipproġettjaw li jistgħu jagħmlu u 50,000 metri kubik ta' nittrogen kull ssa'. F'il-produzzjoni tal-semikonduktorijiet, in-nittrogen agi ċċiekli generali ta' gaz inert u purging, proteženti waħdijiet sensibli ta' silizzjon minn l-oxygen reattiv u l-umidta' fil-ajru.

Helju

Il-helju huwa gaz inert. D-din tibdieli li, bħala in-nittrogen, l-helju huwa kemikalment inert - imma għandu l-avvantatżi Żgħar ta' kondukttività termika elevata. D-din hija particolarment utli f'il-produzzjoni tal-semikonduktorijiet, ċallieħ tieħed effiċjentement il-ħarsa minn proċessi ta' energija elevata u tagħmelhom protezzjoni minn danna termika u reazzjonijiet kemikali żonża.

Ħidrogen

L-ħidrogen jkun użu estensivament kollha tar-rċep tal-proċess tal-manifattura elettronika, u l-produzzjoni tal-semikonduktorijiet ma tkunex eżempjone. Fi particolar, l-ħidrogen jkun użu għal:

L-annealing: Ils-silicon wafers jkoll magħmula li jgħiddu lejn temparaturi ħaddija u jkollu maħluqiex bi ċertezza għallikstur tal-kristall (anneal). Il-ħidrogen jkollu użu għallikkella tal-ħiġġa flimkien lil il-wafer u għallikstabbilità tal-kristall.

L-epitaxy: Il-ħidrogen ta' purtà ultra-ta' jkollu użu bħala agenti riduzzjoni fil-depożizzjoni epitassja tal-materiali semikondukturi kif ils-silicon u it-terzijum.

Id-depozzizzjoni: Il-ħidrogen jista' jiċċekk flimkien fil-filmi tal-silicon għallikstabbilità strutturali tagħha aktar disordjinati, madankollu maħluq għallikstabbilità tal-resistività.

Il-nettieġġ bil-plasma: Il-plasmat tar-ħidrogen huwa xorta effettivu għallikħalla l-kontaminazzjoni tal-astan fradix minn soċċji luminosi uża fi l-litografija UV.

Argon

L-Argon hija gas nobile oħra, li għalhekk tara l-istess reattività ħsena kif il-nitrogen u l-helju. Però, l-enerġija tal-ionizzazzjoni tal-argon hija ħsena, li jifattexxiha fit-tliet semikondukturi. Għax li hi relattivament ēas li tittieħed, l-argon tista' jkun xiwa' missier gas plasma għall-reazzjonijiet ta' etċ u deppozizzjoni fl-improduzzjoni tal-semikondukturi. Żgħar min dawn, l-argon tista' jkun ukoll utlu fit-tliet laser excimer għall-litografija UV.

Għaliex l-purità tagħmel differenza

Tipikament, l-avanzamenti fit-teknoloġija tal-semikondukturi kienu jagħmlu mill-skalin tal-dimensjoni, u l-ġenerazzjoni ġdida tal-teknoloġija tal-semikondukturi tkunu karatterizzata billi hija ikollox żgħar. Dan jagħmel multipli benefici: aktar transisturi fivolim data, ċurrenti aħjar, konsum tuż-żejjed u intersessjoni akkellerati.

Ħalliex, meta l-issena kritika tiftux, id-devaċi semikondukturi jgħidu xiġra aħjar. F’ħajta li posizzjoni tal-individwi atomijiet tagħmel differenza, is-soglija tal-toleranza għall-ħsara huma ħafna strejti. Komplimentarment, il-proċess moderni tal-semikondukturi jagħmlu użu ta’ gas proċess b’purità aktar possibbli.

WOFLY hija ċompagnija ta’ alt ta’ teknoloġija li tkoncentra fuq l-inginjerija tal-sistema ta’ applikazzjoni tal-gas: sistema speċjal tal-gas elettroniku, sistema tal-ċirku tar-rabbat fil-laboratorju, sistema tal-fornitura centrali tal-gas indostriali, sistema tal-gas (liqi) masiv, sistema tal-pipijiet sekondari tal-gas ta’ purità alti u speciali proċess gas, sistema ta’ livvja kimika, sistema tal-milgħuba pura li jipprovdju servizzijiet komplieta tal-inginjerija u tekniċi u prodotti appoġġanti minn konsultazzjoni tekniċi, pianifikazzjoni globali, disinn tal-sistema, selezzjoni tal-equipment, komponenti prefabbrikati, l-istallazzjoni u l-konstruzzjoni tas-sit tal-proġett, il-prova tal-sistema globali, manutenzjoni u prodotti appoġġanti oħrajn f’modi integrati.