Introduction de l'alimentation en air par pipeline d'azote purifié

Tous les gaz de haute pureté doivent être acheminés jusqu'à l'instrument (POU) via un système de tuyauterie. Pour répondre aux exigences de qualité de l'instrument, il est nécessaire de prêter une attention particulière au système de tuyauterie, au choix des matériaux et à la qualité de la construction, en plus des indicateurs de sortie gazeuse. En plus de la précision du gaz ou de l'équipement de purification, cela est largement influencé par de nombreux facteurs liés au système de tuyauterie. Par conséquent, le choix des tubes doit respecter les principes de l'industrie pertinente et indiquer le matériau du tuyau.

Le matériau du tuyau de nitrogène propre est sélectionné en fonction des besoins d'utilisation, et le 316L BA est couramment utilisé en contact avec la puce sans participer aux réactions du processus. La rugosité interne du tube est un critère standard pour mesurer la qualité du tuyau. Plus la rugosité est faible, plus les possibilités de transport de particules sont grandement réduites.

Les pipelines à nitrogen pure peuvent absorber environ 200 g de gaz par tonne lors du processus de fusion de l'acier inoxydable. L'acier inoxydable est traité, non seulement la surface est adhésive, mais une certaine quantité de gaz est également absorbée dans sa structure métallique. Lorsqu'il y a un écoulement d'air dans le pipeline, cette partie du gaz contenu dans le métal se rediffuse dans l'écoulement, et pollue le gaz pur. Lorsque l'écoulement dans le tube n'est pas continu.

Lorsque le tuyau est adsorbé sous pression, le gaz est adsorbé, l'écoulement de gaz s'arrête, et le gaz adsorbé par le tuyau forme une analyse en dépression. Le gaz analysé est également utilisé comme impureté dans le gaz pur contenu dans le tuyau. En même temps, l'adsorption et l'analyse produisent une certaine poudre à la surface du tuyau, qui est également un gaz purifié dans le tube. Cette caractéristique du tuyau de gaz propre est cruciale pour garantir la pureté du gaz transporté. Cela nécessite non seulement une très grande régularité de la surface interne, mais aussi des caractéristiques de haute résistance à l'usure.

Lorsque le gaz est fortement corrosif, il est nécessaire d'utiliser un tuyau en acier inoxydable résistant à la corrosion. Sinon, le tuyau du système de tuyauterie à gaz propre génère des taches de corrosion dues à la corrosion, avec un risque de détachement métallique important ou même de perforation, entraînant ainsi la pollution du gaz pur par un autre gaz pur.